Сводный электронный каталог

научно-технических библиотек Томского научного центра СО РАН

Результат поиска

Результаты: 351 - 400 из 3705 для dc.subject any/relevant "радиотехника ци ... ( 1.535 сек.)

351
Элементы интегральной оптики : теория, технология, приложения: сборник научных трудов / Рос. АН, Институт общей физики; отв. ред. тома : Е. М. Золотов, В. А. Сычугов. — М.: Наука, 1994. — 159 с.: ил. — (Труды Института общей физики РАН / гл. ред. А. М. Прохоров). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-02-007027-0: 1800.00 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
352
Электромагнитная совместимость радиоэлектронных средств: монография / В. И. Владимиров [и др.] ; под ред. Н. М. Царькова. — М.: Радио и связь, 1985. — 272 с.: ил. — Библиогр.: с. 264-269. — 1.30 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
353
Широкополосные радиопередающие устройства (Радиочастотные тракты на полупроводниковых приборах): монография / О. В. Алексеев [и др.] ; под ред. О. В. Алексеева. — М.: Связь, 1978. — 302 с.: ил. — Библиогр.: с. 293-299. — 1.30 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
354
Генерация хаоса: научное издание / А. С. Дмитриев [и др.] ; под общ. ред. А. С. Дмитриева. — М.: Техносфера, 2012. — 423 с.: ил. — (Мир физики и техники). — Библиогр.: с. 397-417. — Предм. указ.: с. 418-423. — ISBN 978-5-94836-321-9: 920.00 р.
Явление динамического хаоса, открытое в последней трети двадцатого века, широко распространено в природе и искусственных системах. Его необычные свойства буквально перевернули обычные представления о том, что малые возмущения или события могут приводить лишь к незначительным изменениям в будущем. Оказалось, что все может быть с точностью до наоборот («эффект бабочки»). Подобно тому, как лазеры являются эффективными источниками узкополосного света, генераторы хаотических колебаний являются эффективными источниками широкополосных аналоговых шумоподобных колебаний. Излагаются теория генерации динамического хаоса в радио- и микроволновом диапазонах частот, принципы построения источников хаоса и их реализация в виде твердотельных устройств с сосредоточенными параметрами.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
355
Цербст, Манфред.
Контрольно-измерительная техника: переводное издание / М. Цербст ; пер. с нем. В. Н. Храменкова, под ред. Е. И. Сычева. — М.: Энергоатомиздат, 1989. — 320 с.: ил. — Библиогр.: с. 312-318. — ISBN 5-283-02474-1: 1.50 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
356
Грязнов, Михаил Иванович.
Измерение параметров импульсов: монография / М. И. Грязнов, М. Л. Гуревич, Ю. А. Рябинин. — М.: Радио и связь, 1991. — 216 с.: ил. — Библиогр.: с. 206-211. — Предм. указ.: с. 212-214. — ISBN 5-256-00718-1: 1.60 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
357
Пузырев, Владимир Андреевич.
Тонкие ферромагнитные пленки в радиотехнических цепях: монография / В. А. Пузырев. — : Советское радио, 1974. — 160 с.: ил. — Библиогр.: с. 157-158. — Предм. указ.: с. 159-160. — 0.41 р.
Рассмотрены вопросы создания моделей магнитосвязанной с внешними радиотехническими цепями тонкой ферромагнитной пленки и использования этих моделей для расчета устройств, содержащих пленки. Исследовано влияние технологических и внешних факторов на параметры модели. Изложены методы экспериментального определения основных параметров модели и пленки.Книга рассчитана на специалистов, занимающихся вопросами проектирования и использования тонкопленочных радиотехнических устройств, а также инженеров, работающих в области применения магнитных материалов в СВЧ элементах и в вычислительной технике.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
358
Таиров, Юрий Михайлович.
Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов: учеб. пособие для вузов / Ю. М. Таиров, В. Ф. Цветков. — 3-е изд., стереотип. — СПб.: Лань, 2002. — 424 с.: ил. — (Учебники для вузов. Специальная литература). — Библиогр.: с. 418. — Предм. указ.: с. 419-421. — ISBN 5-8114-0438-7: 110.00 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
359
Ломухин, Юрий Лупонович.
Методы дополнительного ослабления электромагнитных полей: монография / Ю. Л. Ломухин, А. Ю. Ветлужский ; отв. ред. Ю. Б. Башкуев ; Рос. АН, Сиб. отд-ние, Бурятский научный центр, Иркутский государственный университет путей сообщения. — Новосибирск: Наука, 2003. — 136 с.: ил. — Библиогр.: с. 129-134. — ISBN 5-02-031952-X: 62.00 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
360
Боуэн, Д. К.
Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия и топография: монография / Д. К. Боуэн, Б. К. Таннер ; отв. ред. И. Л. Шульпина. — СПб.: Наука, 2002. — 274 с.: 147 ил. — Парал. тит. лист англ. — Библиогр.: с. 269-270. — Предм. указ.: с. 271-274. — ISBN 5-02-024963-7.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
361
Бриндли, Кейт.
Карманный справочник инженера электронной техники: пер. с англ. / К. Бриндли, К. Дж. Карр. — М.: Додэка-XXI, 2002. — 480 с.: ил. — Парал. тит. лист англ. — Предм. указ.: с. 475-479. — ISBN 5-94120-041-2: 105.00 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
362
Формозов, Борис Николаевич.
Введение в криогенную микроэлектронику: монография / Б. Н. Формозов. — СПб.: Наука, 2001. — 327 с.: ил. — Библиогр.: с. 322-327. — ISBN 5-02-024961-0: 126.50 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
363
Костиков, Владимир Григорьевич.
Источники электропитания электронных средств: схемотехника и конструирование : учеб. пособие для вузов по напр. "Проектирование и технология электрон. средств", спец. "Проектирование и технология радиоэлектрон. средств", "Конструирование и технология электрон.-вычисл. средств", "Радиотехника" / В. Г. Костиков, Е. М. Парфенов, В. А. Шахнов. — 2-е изд. — М.: Горячая линия - Телеком, 2001. — 344 с.: ил. — Библиогр.: с. 339-340. — ISBN 5-93517-052-3.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
364
Маркировка электронных компонентов: Более 4000 SMD кодов. — М.: Додэка, 1999. — 160 с.: ил. — ISBN 5-87835-034-3.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
365
Анциферов, Виталий Васильевич.
Физика твердотельных лазеров: монография / В. В. Анциферов, Г. И. Смирнов. — Новосибирск: СГУПС, 1999. — 301 с.: ил. — Библиогр.: с. 277-300. — ISBN 5-230-12063-8: 50.00 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
366
Печатающие устройства для персональных ЭВМ: справ. / Е. П. Бененсон [и др.] ; под ред. И. М. Витенберга. — М.: Радио и связь, 1992. — 207 с.: ил. — Библиогр.: с. 202-204. — ISBN 5-256-00927-3: 92.00 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
367
Большие интегральные схемы запоминающих устройств: справ. / А. Ю. Гордонов [и др.] ; под ред. А. Ю. Гордонова, Ю. Н. Дьякова. — М.: Радио и связь, 1990. — 287 с.: ил. — Библиогр.: с. 287. — ISBN 5-256-00464-6: 1.50 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
368
Справочник по лазерной технике: справочное издание / пер. с нем. В. Н. Белорусова ; под ред. А. П. Напартовича. — М.: Энергоатомиздат, 1991. — 544 с.: ил. — Библиогр.: с. 518-540. — ISBN 5-283-02480-6: 2.80 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
369
Справочник по радиоэлектронным устройствам : в 2-х т. — М.; : Энергия , Б.г. — (Радиоэлектроника ).
Т. 1 :. — , 1978. — 440 с.: ил. — Предм. указ.: с. 433-439. — 3.00 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
370
Ладик, Александр Иванович.
Изделия электронной техники. Знакосинтезирующие индикаторы: Справочник / А. И. Ладик, А. И. Сташкевич ; рец. А. И. Гербин. — М.: Радио и связь, 1994. — 176 с.: табл. — Библиогр.: с. 176. — ISBN 5-256-01146-4: 4.93 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
371
Шевцов, Даниил Андреевич.
Блоки питания IBM PS XT/AT, Superat-386 и их периферийные устройства: справ. пособие по ремонту / Д. А. Шевцов, О. М. Хмелинин. — М.: Издательство АО "Звезды и С", 1993. — 122 с.: ил. — 90.00 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
372
Фоли, Джеймс.
Основы интерактивной машинной графики : в 2-х кн. / Д. Фоли, А. вэн Дэм ; пер. с англ. В. А. Галактионова [и др.], под ред. Ю. М. Баяковского. — М.; : Мир , Б.г.
Кн. 1 :. — , 1985. — 367 с.: ил. — 2.30 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
373
Устройства автоматики: сб. науч. тр. / АН ГрузССР, Институт систем управления. — Тбилиси: Мецниереба, 1976. — 50 с.: ил. — (Труды Института систем управления АН ГрузССР). — Библиогр. в конце ст. — 0.25 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
374
Мейман, Теодор Г.
Лазерная одиссея: мемуары / Т. Г. Мейман ; пер. с англ. М. Н. Сапожникова. — М.: Печатные традиции, 2010. — 223 с. ; [8] л. ил.; 22 см. — Указ. предм., имен.: с. 215-223. — ISBN 978-5-91561-050-6: 100.00 р.
16 мая 1960 года Теодор Мейман сделал первый в мире лазер, получив генерацию красного когерентного света в кристалле рубина. Мейман выиграл лазерную гонку в соревновании с ведущими промышленными лабораториями и университетами США, стремившимися первыми получить когерентный свет после создания микроволнового усилителя - мазера. Сообщение Меймана о своем достижении на пресс-конференции в Нью-Йорке 7 июля 1960 года вызвало сенсацию и было встречено многими учеными сначала с недоверием. Однако конструкция рубинового лазера Меймана была настолько простой, элегантной и эффективной, что уже через несколько месяцев этот лазер смогли воспроизвести в других лабораториях и его конструкция была использована для создания других лазеров. В своей автобиографической книге Теодор Мейман увлекательно описывает свое детство, годы учебы в университетах США и свои исследования в Лаборатории Хьюза в Калифорнии, которые привели к созданию лазера. Он откровенно рассказывает о действиях влиятельных ученых-конкурентов из лабораторий на Восточном побережье США, которые в течение многих лет пытались преуменьшить значение его выдающегося достижения. 2010 год объявлен Международным годом лазера, и научный мир празднует во многих странах пятидесятилетний юбилей этого замечательного научного и технологического достижения XX века. В связи с полувековым юбилеем создания первого лазера книга Теодора Меймана переведена на русский язык. Книга содержит предисловие Кэтлин Мейман, написанное специально для русского издания.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
375
Лазарев, Владимир Георгиевич.
Проектирование дискретных устройств автоматики: учеб. пособие для студ. электротехн. институтов связи по спец. 0702 / В. Г. Лазарев, Н. П. Маркин, Ю. В. Лазарев. — М.: Радио и связь, 1985. — 169 с.: ил. — Библиогр.: с. 167-168. — 0.40 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
376
Денбновецкий, Станислав Владимирович.
Преобразование информации на новых запоминающих ЭЛТ: монография / С. В. Денбновецкий, А. В. Лещишин, Г. Ф. Семенов. — М.: Энергоатомиздат, 1984. — 113 с.: ил. — (Библиотека по автоматике). — Библиогр.: с. 110-112. — 0.35 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
377
Автоматизация конструкторского проектирования в радиоэлектронике и вычислительной технике : межвуз. темат. сб. науч. тр. / Каунасский политехнический институт им. Антанаса Снечкуса ; редкол. : П. П. Сыпчук (гл. ред.) [и др.]. — Вильнюс; , Б.г.
Т. 6 : Интерактивные системы конструкторского проектирования электронной аппаратуры. — , 1986. — 162 с.: ил. — Библиогр. в конце ст. — 1.00 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
378
"Актуальные проблемы электронного приборостроения", всесоюзная науч.
Всесоюзная научно-техническая конференция "Актуальные проблемы электронного приборостроения", 17-19 апреля 1990 г., г. Новосибирск: тез. докл., 17-19 апреля 1990 г., Новосибирск. — Новосибирск, 1990. — 165 с.: ил. — Библиогр. в конце докл.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
379
Березин, Геннадий Николаевич.
Оптические основы контактной фотолитографии: монография / Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис. — М.: Радио и связь, 1982. — 103 с.: ил. — (Массовая библиотека инженера "Электроника"). — Библиогр.: с. 98-101. — 0.30 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
380
Вопросы проектирования и производства радиоэлектронных средств и электрорадиоизделий: межвуз. сб. науч. тр. / Московский институт радиотехники, электроники и автоматики; редкол. : А. Ф. Мевис (отв. ред.) [и др.]. — М.: МИРЭА, 1993. — 151 с.: ил. — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-230-12129-7: 280.00 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
381
Горобец, Алексей Иванович.
Охрана труда в радиоэлектронной промышленности: монография / А. И. Горобец, А. И. Степаненко. — Киев: Технiка, 1987. — 135 с.: ил. — (Библиотека "Техника безопасности"). — Библиогр.: с. 134. — 0.50 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
382
Гиваргизов, Евгений Инвиевич.
Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники: монография / Е. И. Гиваргизов. — М.: Наука, 1988. — 176 с.: ил. — (Проблемы науки и технического прогресса). — Библиогр.: с. 158-176. — ISBN 5-02-013845-2: 1.90 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
383
Зеленский, Валерий Александрович.
Бытовые электронные автоматы: монография / В. А. Зеленский, Б. П. Хромой. — М.: Радио и связь, 1988. — 72 с.: ил. — (Массовая радиобиблиотека). — Библиогр.: с. 71. — ISBN 5-256-00072-1: 0.45 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
384
Кобзев, Анатолий Васильевич.
Многозонная импульсная модуляция. Теория и применение в системах преобразования параметров электрической энергии : монография / А. В. Кобзев; АН СССР, Сиб. отд-ние, Институт сильноточной электроники, Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники. — Новосибирск: Наука. Сибирское отделение, 1979. — 300 с.: ил. — Библиогр.: с. 288-298. — 3.20 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
385
Методы и аппаратура измерений на СВЧ: сб. науч. тр. / ВНИИ физ.-техн. и радиотехн. измерений. — М.: ВНИИФТРИ, 1973. — 136 с.: ил. — (Труды ВНИИФТРИ). — Библиогр. в конце ст. — 0.64 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
386
Пархутик, Виталий Петрович.
Плазменное анодирование. Физика, техника, применение в микроэлектронике: монография / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов. — Минск: Навука i тэхнiка, 1990. — 280 с.: ил. — Библиогр.: с. 252-276. — ISBN 5-343-00522-5: 2.80 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
387
Сиберт, Уильям Макконвей.
Цепи, сигналы, системы : в 2-х ч. / У. М. Сиберт. — М.; : Мир. — 5-03-000976-0.
ч. 1 :. — , 1988. — 336 с.: ил. — Предм. указ.: с. 331-333. — ISBN 5-03-000977-9: 2.00 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
388
Сиберт, Уильям Макконвей.
Цепи, сигналы, системы : в 2-х ч. / У. М. Сиберт. — М.; : Мир. — 5-03-000976-0.
ч. 2 :. — , 1988. — 360 с.: ил. — Предм. указ.: с. 353-356. — ISBN 5-03-000978-7: 2.10 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
389
Рафикузаман, Мохамед.
Микропроцессоры и машинное проектирование микропроцессорных систем : в 2-х кн. / М. Рафикузаман. — М.; : Мир , Б.г.
Кн. 1 :. — , 1988. — 312 с.: ил. — ISBN 5-03-001135-8: 2.30 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
390
Рафикузаман, Мохамед.
Микропроцессоры и машинное проектирование микропроцессорных систем : в 2-х кн. / М. Рафикузаман. — М.; : Мир , Б.г.
Кн. 2 :. — , 1988. — 288 с.: ил. — ISBN 5-03-001136-6: 2.10 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
391
Радиационно-надежностные характеристики изделий электронной техники в экстремальных условиях эксплуатации: сборник / под ред. Ю. Н. Торгашова. — СПб.: Электронстандарт, 1994. — 94 с.: ил. — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-8464-0057-4.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
392
Всесоюзный симпозиум по наносекундной импульсной технике и её применению в физических исследованиях.
Тезисы докладов Всесоюзного симпозиума по наносекундной импульсной технике и её применению в физических исследованиях (март 1965 г., Горький): доклад, тезисы доклада. — Горький, 1965. — 45 с.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
393
750 практических электронных схем: справ. руководство / сост. и ред. Р. Фелпс, пер. с англ В. А. Логинова. — М.: Мир, 1986. — 584 с.: ил. — 2.10 р.
В справочник, изданный в США, включены принципиальные схемы электронных устройств, разработанных ведущими зарубежными фирмами - изготовителями электронных компонентов. Представлены источники питания, измерительные приборы, генераторы, приемопередатчики и усилители, радиоуправляемые модели и многие другие схемы. Для специалистов в области разработки и применения электронной техники, а также квалифицированных радиолюбителей.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
394
Горохов, Вадим Алексеевич.
Физические основы применения тиристоров в импульсных схемах / В. А. Горохов, М. Б. Щедрин. — М.: Советское радио, 1972. — 304 с.: ил. — Библиогр.: с. 293-301.
Рассматриваются возможности и особенности применения полупроводниковых четырехслойных приборов (диодных, триодных, в том числе запираемых по входу тиристоров и фототиристоров) в качестве ключевых элементов радиоэлектронных устройств. Дается физический анализ ключевых свойств тиристорного ключа, определяются режимы и предлагаются методы и схемы автоматизированного измерения основных параметров. Анализируются типовые цели отпирания, запирания и выключения тиристоров. Излагается теория и расчет тиристорных схем формирования, счета и распределения импульсов во времени и даются примеры их практического использования в конкретных радиоэлектронных устройствах. Оцениваются перспективы применения тиристоров специальных типов в ключевых и логических схемах.Книга рассчитана на широкий круг специалистов, занимающихся как разработкой элементов систем управления, автоматики, телеметрии с использованием тиристоров, так и созданием полупроводниковых приборов на основе четырехслойной структуры. Книга также может быть полезна студентам и аспирантам, специализирующимся в области радиоэлектроники.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
395
Титце, Ульрих.
Полупроводниковая схемотехника : [в 2 т.]: пер. с нем. / У. Титце, К. Шенк. — М.; : Додэка-XXI , Б.г.
Т. 2 :. — , 2008. — 942 с.: ил. — Все права защищены. — Библиогр. в конце разд.; Предмет. указ. с. 934-941. — ISBN 978-5-94120-200-3. — ISBN 3-540-42849-6: 723.10 р.
Перевод 12-гоиздания широко известной книги Ульриха Титце и Кристофа Шенка (в 1982 г. изд-во "Мир" выпустило перевод 5-го изд. этой книги). Это фундаментальный труд, объединяющий принципы устройства полупроводниковых элементов (диоды, биполярные и полевые транзисторы, интегральные микросхемы) и основы создания их этих элементов различных функциональных узлов аналоговой техники (усилители, модуляторы, фильтры, радиоприемники) и цифровой (спусковые схемы, счетчики, регистры, шифраторы и дешифраторы, устройства памяти и т. д.). Книга разбита на два тома: первый посвящен основам схемотехники, второй - применениям функциональных узлов при создании более сложных устройств. При изложении материала широко используются эквивалентных схемы как полупроводниковых элементов, так и функциональных узлов, соответствующие работе в области постоянного тока и низких/высоких частот. Особое внимание уделено также переходным процессам цифровых схем. Описание каждого элемента или схемы сопровождается необходимым количеством достаточно элементарных формул, служащих для их инженерного расчета. Энциклопедическая полнота, обилие самых разных схем и доступное математическое обоснование делают книгу полезной широкому кругу читателей: радиолюбителям, техникам ремонтных предприятий, инженерам радиотехники и электроники ин научным работникам.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
396
Науман, Гюнтер.
Стандартные интерфейсы для измерительной техники: переводное издание / Г. Науман, В. Майлинг, А. Щербина ; пер. c нем. М. М. Гельмана, под ред. А. С. Бондаревского. — М.: Мир, 1982. — 304 с.: ил. — Библиогр.: с. 295-299. — Предм. указ.: с. 300-301. — 1.60 р.
В книге известных специалистов из ГДР изложены основы теории и практики построения и эксплуатации стандартных средств сопряжения для измерительных систем. Рассматриваются вопросы использования микропроцессоров, микро-ЭВМ и соответствующего программного обеспечения. Для специалистов в области измерительной техники и автоматизации производственных процессов.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
397
Yarman, Binboga Siddik.
Design of Ultra Wideband Antenna Matching Networks : Via Simplified Real Frequency Technigue: монография / B. S. Yarman. — Berlin; Heidelberg: Springer, 2008. — XII,308 p.: il.; 24 cm + 1 эл. опт. диск (CD-ROM). — (Signals and communication technology). — Bibliogr. at the end of the chapters. — ISBN 978-1-4020-8417-1: 240.00 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
398
Шрайбер, Герман.
400 новых радиоэлектронных схем: пер. с фр. / Г. Шрайбер. — М.: ДМК Пресс, 2001. — 368 с.: ил. — (В помощь радиолюбителю). — Предм. указ.: с. 361-367. — ISBN 5-94074-063-4: 89.00 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
399
Хоровиц, Пауль.
Искусство схемотехники: монография / П. Хоровиц, У. Хилл ; пер. с англ. Б. Н. Бронина [и др.]. — 5-е изд., перераб. и доп. — М.: Мир, 1998. — 704 с.: ил. — ISBN 5-03-003315-7: 109.00 р.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи
400
Александров, Сергей Евгеньевич.
Плазмохимические процессы и оборудование: учеб. пособие / С. Е. Александров, А. А. Уваров; С.-Петерб. гос. политехн. ун-т. — СПб.: Издательство Политехнического университета, 2012. — 391 с.: ил.; 20 см. — (Вакуумная техника). — Библиогр.: с. 386-390. — ISBN 978-5-7422-3668-9: 550.00 р.
Данное учебное пособие предназначено для сотрудников предприятий, занятых разработкой и изготовлением плазмохимического оборудования для повышения их квалификации путем приобретения компетенций в области плазмохимических технологий травления и осаждения материалов электронной и микросистемной техники. Пособие может быть полезно студентам старших курсов, обучаемых в рамках направлений «Наноматериалы» и «Материаловедение и технология материалов» по профилям, относящимся к технологии изделий микроэлектроники и микросистемной техники. В настоящем учебном пособии обсуждаются принципы построения плазмохимического оборудования, основанного на использовании низкотемпературной плазмы, создаваемой с помощью газовых разрядов при пониженных давлениях, основы процессов травления микроэлектронных структур, закономерности процессов плазмохимического травления и примеры их использования для травления разнообразных материалов, а также плазмохимические процессы осаждения слоев на примере нитрида кремния, как одних из наиболее сложных и трудных для практической реализации.
Детальное описание | Добавить в корзину | Похожие записи