| 401 |
|
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учеб. пособие для вузов: в 2 т . / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. — М.; : БИНОМ. Лаборатория знаний , Б.г.
Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. — М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. — 392 с. — Библиогр.: с. 386-389. — ISBN 978-5-9963-0335-9: 375.00 р.
Распределение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при термической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздействие различных излучений, полей и др. Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем устанавливается путем рассмотрения проблем межфазного взаимодействия в неравновесных микрогетерогенных системах, совместимости контактирующих материалов, анализа критериев, позволяющих прогнозировать физико-химический характер взаимодействия с использованием диаграмм фазовых равновесий. Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических микроэлектронных устройств, аспирантов и специалистов.
|
| 402 |
|
Диссипативные процессы в высокоомных материалах при высоких уровнях электронного возбуждения: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / С. А. Степанов ; науч. рук. В. Ф. Штанько, офиц. оппоненты : В. Г. Кригер, В. Ф. Пичугин; Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Уральский федеральный университет им. первого Президента России Б. Н. Ельцина. — Томск, 2013. — 23 с.: ил. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 23.
|
| 403 |
|
Физическая акустика кристаллов: учеб. пособие для вузов / К. Н. Баранский. — М.: Издательство Московского университета, 1991. — 143 с.: ил. — Библиогр.: с. 142-143. — ISBN 5-211-00969-X: 1.00 р.
|
| 404 |
|
Введение в современную оптику. Квантовая теория взаимодействия света и вещества: монография / Б. И. Степанов. — Минск: Навука i тэхнiка, 1990. — 319 с.: ил. — Библиогр. в конце глав. — ISBN 5-343-00523-3: 3.50 р.
|
| 405 |
|
Нестационарные процессы в твердотельных непрерывно накачиваемых лазерах с активной синхронизацией мод: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.03 / А. Е. Мандель ; науч. рук. Е. С. Коваленко, офиц. оппоненты : В. П. Лопасов, В. П. Комаров; Томский ин-т автоматизированных систем управления и радиоэлектроники, Науч.-исслед. ин-т Радиооптики. — Томск, 1986. — 18 с. — На правах рукописи. — Для служебного пользования. — Библиогр.: с. 17-18.
|
| 406 |
|
Характеристики электронных пучков в диодах со взрывоэмиссионным катодом: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 / С. Я. Беломытцев ; науч. рук. Е. А. Литвинов; Институт сильноточной электроники СО АН СССР. — Томск, 1983. — 110 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 98-110.
|
| 407 |
|
Характеристики электронных пучков в диодах со взрывоэмиссионным катодом: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 / С. Я. Беломытцев ; науч. рук. Е. А. Литвинов, офиц. оппоненты: Ю. Е. Крейндель, В. ПЕ. Григорьев; Институт сильноточной электроники СО АН СССР. — Томск, 1984. — 14 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 13-15.
|
| 408 |
|
Исследования по формированию кольцевых сильноточных электронных пучков: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 / Г. П. Исаев ; науч. рук. А. Н. Диденко; Томский политехнический институт им. С. М. Кирова (Томск), Научно-исследовательский институт ядерной физики (Томск). — Томск, 1981. — 106 с. — Библиогр.: с. 99-106.
|
| 409 |
|
Формирование электрического пробоя в газах в режиме недонапряжения: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 / А. А. Аливердиев ; науч. рук. А. З. Эфендиев; Дагестанский государственный университет им. В. И. Ленина (Махачкала). — Махачкала, 1983. — 134 с.: ил., рис. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 124-134.
|
| 410 |
|
Генерирование импульсных пучков большого сечения в электронных источниках с сетчатым плазменным эмиттером: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 / Н. Н. Коваль ; науч. рук. Ю. Е. Крейндель; Институт сильноточной электроники СО АН СССР. — Томск, 1984. — 178 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 164-178.
|