Технология материалов микро- и наноэлектроники: монография / Л. В. Кожитов [и др.]; Минобрнауки России, Юго-Зап. гос. ун-т. — 2-е изд., перераб. и испр. — Курск: ЮЗГУ, 2012. — 860, [1] с.: ил.; 21 см. — Авт. указаны на обороте тит. л. — Библиогр. в конце гл. — ISBN 978-5-7681-0760-4: 889.52 р.
Приведены теоретические основы и математические модели процессов выращивания монокристаллов полупроводников из расплава. Рассмотрены основы эпитаксиального роста плёнок полупроводников и оборудование для их производства, а также процессы плазмохимических технологий и высокоэнергетичных воздействий получения материалов для электроники. Изложены основные методы получения современных нанокомпозитных материалов на основе углерода, проанализированы основные модели процессов, определены перспективы развития технологий. Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в области получения и исследования материалов микро- и наноэлектроники, а также может быть использована для подготовки специалистов по таким направлениям, как 210100 «Электроника и наноэлектроника», 152200 «Наноинженерия», 222900 «Нанотехнологии и микросистемная техника».