| 61 |
|
Технология микроэлектронных устройств: Справочник / З. Ю. Готра ; рец. Ю. З. Бубнов. — М.: Радио и связь, 1991. — 528 с.: табл. — Библиогр.: с. 526. — ISBN 5-256-00699-1: 4.00 р.
Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств. Для инженерно-технических работников, мастеров и квалифицированных рабочих, занимающихся производством МЭУ.
|
| 62 |
|
Особенности структурно-фазовых изменений в поверхностных слоях инструментальных сталей при ионной имплантации и термообработке: научное издание / Л. Н. Пучкарева, А. Н. Чеховой, Ю. Р. Колобов; Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск), НПО "Темп" (М.) // М. Проведены исследования элементного состава и микротвердости поверхностного слоя образцов инструментальных сталей с карбидным упрочнением после восстановительной термообработки и последующей имплантации ионов Ti в различных режимах. Исследования износостойкости выполнены на пуансонах, служащих для холодного выдавливания корпусов веловтулок. Установлена корреляция между характером изменения элементного состава и служебными характеристиками изделий в зависимости от режимов имплантации.
|
| 63 |
|
Деформационное поведение ионно-имплантированных а-железа и стали 45 при трении и износе в условиях подавления акустических колебаний: научное издание / Б. П. Гриценко, К. В. Круковский, О. А. Кашин; Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск) // Новосибирск. Проведено исследование влияния высокодозной ионной имплантации на деформационные процессы, происходящие в приповерхностных областях alfa-железа и стали 45 при трении. Показано, что ионная имплантация может в десятки раз снижать величину износа на стадии приработки. Экспериментально установлено, что, демпфируя распространение акустических колебаний, генерируемых трибологической парой, можно существенно уменьшать износ образцов на первой стадии. Предложено объяснение кинетических кривых изнашивания, учитывающее влияние акустических колебаний, генерируемых в трибосистеме.????.
|
| 64 |
|
High-Energy Structural States of the Ni3(AlCr) Alloy after Severe Plastic Deformation and Ion Implantation: научное издание / А. Д. Коротаев [et al.]; Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск), Сибирский физико-технический институт им. В. Д. Кузнецова (Томск), Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск) // М.
|
| 65 |
|
Фазовый анализ поверхностных слоев никеля, имплантированного алюминием: научное издание / Э. В. Козлов [и др.]; Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск), Томский государственный архитектурно-строительный университет (Томск) // М. Представлены результаты экспериментального исследования микроструктуры и фазового состава поверхностных легированных слоев никелевой мишени, сформированных в режиме высокоинтенсивной имплантации ионов алюминия на вакуумно-дуговом источнике ускоренных ионов "Радуга-5". Установлено формирование наноразмерных интерметаллидных фаз Ni3Al и NiAl и твердого раствора переменного состава системы Ni-Al.
|
| 66 |
|
Structural state and mechanical properties of the nanostructural, ultrafine-grained and coarse-grained titanium implanted by aluminium ions: научное издание / Ю. П. Шаркеев [и др.]; Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск), Томский государственный архитектурно-строительный университет (Томск) // .
|
| 67 |
|
Повышение циклической долговечности субмикрокристаллического и крупнокристаллического титана при высокоинтенсивной ионной имплантации: научное издание / Ю. П. Шаркеев [и др.]; Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск), Объединенный институт машиностроения НАНБ (Минск) // М.
|
| 68 |
|
Влияние градиентных микроструктур, формирующихся при ионной имплантации и трении на износостойкость ионно-имплантированной стали 45 / Е. В. Легостаева, Ю. П. Шаркеев, Б. П. Гриценко; Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск) // М.
|
| 69 |
|
Закономерности формирования субмикро-, нанокристаллических и аморфных структур в условиях ионной имплантации и ионного миксинга / А. Д. Коротаев, А. Н. Тюменцев, С. П. Бугаев; Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск), Сибирский физико-технический институт им. В. Д. Кузнецова (Томск), Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск) // М.
|
| 70 |
|
Влияние ионной имплантации на тонкую структуру покрытия на основе системы NiAl, сформированного методом магнетронного напыления: научное издание / М. В. Федорищева [и др.]; Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск), Томский государственный архитектурно-строительный университет (Томск) // Ростов н/Д. Фазовый состав, тонкая структура интерметаллических покрытий исследована методами электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа. Показано, что интерметаллид Ni3Al является основной фазой покрытия для всех исследованных образцов. Ионная имплантация покрытия ионами алюминия и бора приводит к изменению параметра решетки, параметра дальнего атомного порядка, изменению внутренних упругих напряжений, размеров зерен и типа дислокационной структуры.
|