Приведены результаты исследований образования наноструктурных комплексов водород-кремний в приповерхностном слое монокристаллического кремния при его обработке в водородсодержащей плазме. С помощью ИК- и оже-спектроскопии показано, что только при малых временах обработки происходит образование нанослоев и, как следствие, экстремальное изсенение удельного сопротивления приповерхностного слоя.

Пособие посвящено гидродинамическим аспектам и приэлектродным явлениям в физике плазмы, составляющим основу многих промышленных технологий. В книге приведены общие свещения из физики плазмы, основные критерии применимости различных подходов и моделей при описании процессов. Обсуждены свойства и особенности стационарных и нестационарных разрядов, рассмотрена физическая природа различных контракций и даны практические предложения.