Вакуумная электроизоляция и самостоятельный разряд в вакууме широко используются в современной науке и технике. Однако успешное их применение часто представляет сложную задачу, тем более что некоторые процессы, возникающие в вакууме при наличии высокого напряжения, изучены недостаточно полно. В книге излагаются и систематизируются экспериментальные данные о разнообразных процессах, возникающих в результате приложения постоянного, импульсного или высокочастотного напряжения к электродам и изоляторам, находящимся в вакууме. Кроме многочисленных сведений прикладного характера, книга содержит подробное описание и анализ физической картины и существующих теорий рассматриваемых процессов.

В книге даны основные представления о физике вакуума; рассмотрены процессы переноса при низких давлениях, сорбционные процессы, течение газов по трубопроводам; обсуждены принципы действия основных типов вакуумных насосов, их характеристики и возможности непользования в различных системах откачки; описаны способы измерения вакуума, анализ парциальных давлений, течеискание; приведены типовые схемы вакуумных машин и установок, дан общий порядок расчета и проектирования вакуумных систем.Предназначается для студентов специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение".

В книге представлены некоторые результаты 25-летней деятельности автора в области электрокаплеструйных технологий (ЭКСТ). Теоретическая часть включает результаты исследований основных физических процессов ЭКСТ, методы расчета и проектирования эмиттеров капель, индукторов, отклоняюще-управляющих узлов и систем, блоков гидроавтоматики, а также основы разработки и синтеза ЭКС-композиций. В главе 7 и в приложении приведен опыт широкого внедрения ЭКСТ и маркировочных принтеров ЭКСТ во многих отраслях народного хозяйства как в России, так и за рубежом. Книга предназначена для инженерно-технических и научных работников, специализирующихся в области автоматики, вычислительной техники и автоматизации технологических процессов, а также будет полезной аспирантам и студентам соответствующих специальностей.

Справочник содержит основные сведения по теории вакуума, расчету, конструированию и эксплуатации вакуумных систем и их элементов. Приведены физико-механические характеристики материалов, применяемых для изготовления элементов вакуумных систем. Даны примеры конструктивного выполнения вакуумной аппаратуры, методы ее сборки и отладки, правила эксплуатации. Описаны приборы для измерения давления в вакуумных системах и контроля степени их негерметичности. Для инженерно-технических работников, занимающихся конструированием, производство и эксплуатацией вакуумных систем.