Изложены современные методы анализа элементного состава материалов, основанные на взаимодействии электронов, ионов и фотонов с поверхностью, приведена классификация методов анализа поверхности. Для каждого из методов рассматриваются физические процессы и наиболее важные закономерности, лежащие в их основе, а также влияние параметров зондирующего пучка на результаты анализа. Пособие предназначено для студентов физического факультета и факультета радиофизики и электроники БГУ.