| 51 |
|
Технология тонких пленок : Справочник / под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга, пер. с англ. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко. — М.; : Советское радио , Б.г.
Т. 2 :. — , 1977. — 764, [4] с.: ил. — Библиогр. в конце глав. — 4.45 р.
Справочник по технологии тонких пленок - наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издается в двух томах. В т. 1 включены гл. 1-7, в т. 2 гл. 8-21. В т. 2 справочника рассмотрены особенности тонких пленок: их рост и структура, методы её исследования, толщина и химический состав пленок, а также зависимость их структуры от технологии. Излагаются физические свойства полупроводниковых диэлектрических, ферромагнитных, пьезоэлектрических и сверхпроводящих пленок и зависимость параметров пленок от технологии. Отражены также основные направления применения тонких пленок в интегральных микросхемах, СВЧ устройствах, создания дискретных электронных элементов. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектронной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок.
|
| 52 |
|
Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование: [сб. ст.] / отв. ред. А. А. Орликовский. — М.: Наука, 2005. — 414,[1] с.: ил.; 24 см. — (Труды ФТИАН / Рос. акад. наук, Физ.-технол. ин-т ; гл. ред. К. А. Валиев, 0868-7129). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-02-033950-4: 194.00 р. |
| 53 |
|
Распыление диэлектриков нейтральными атомами средних энергий: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 / О. Л. Рязанцева ; науч. рук. Л. А. Сена; Ленинградский горный институт им. Г. В. Плеханова (Л.). — Ленинград, 1984. — 173 с. — На правах рукописи. — Для служебного пользования. — Библиогр.: с. 165-173.
|
| 54 |
|
Справочник Шпрингера по нанотехнологиям : в 3-х томах / Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (М.), Научно-производственный комплекс "Технологический центр" ; под ред. Б. Бхушана, пер. с англ. под общей ред. А. Н. Саурова.
Т. II :. — М.: Техносфера, 2010. — 1040 с.: ил. — Изд. осуществлено при финансовой поддержке РФФИ по проекту № 09-08-07050-д. — Библиогр. в конце глав. — ISBN 978-5-94836-263-2: 1600.00 р.
Первое издание справочника по нанотехнологиям. выпущенное крупнейшим немецким издательством "Шпрингер" в 2004 году, заявило о себе как об основном источнике информации в области научных знаний о нанотехнологиях. Справочник объединяет сведения по технология, механике. материаловедению и надежности. Второе издание увеличилось с 6 до 8 частей, с 38 до 58 глав. Первая часть - введение в наноструктуры и технологии изготовления микро- и наноструктур. включая используемые при этом методы и материалы. Вторая часть справочника посвящена МЭМС/НЭМС и БиоМЭМС/БиоНЭМС приборам. Различные типы сканирующей зондовой микроскопии рассмотрены в третьей части. Четвертая часть посвящена обору нанотрибологии и наномеханики. Обзор смазок на пленках молекулярной толщины представлен в пятой части справочника. Шестая часть знакомит читателя с некоторыми применениями нанотехнологий в промышленном масштабе. седьмая сфокусирована на надежности микроприборов. И, наконец, последняя посвящена технологической конвергенции, которую несут с собой нанотехнологии, в ней также рассмотрены социальные, этические и политические последствия нанотехнолоий. Предметный указатель приведен в конце третьего тома. Книга подготовлена опытным редактором и написана командой из 150 известных международных экспертов. Она адресована инженерам-механикам и инженерам-электрикам. специалистам по материаловедению, медикам и химикам, которые работают в области нано-, или в областях, так или иначе связанных с этой новой важнейшей технологией.
|
| 55 |
|
Справочник Шпрингера по нанотехнологиям : в 3-х томах / Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (М.), Научно-производственный комплекс "Технологический центр" ; под ред. Б. Бхушана, пер. с англ. под общей ред. А. Н. Саурова.
Т. III :. — М.: Техносфера, 2010. — 832 с.: ил. — Изд. осуществлено при финансовой поддержке РФФИ по проекту № 09-08-07050-д. — Библиогр. в конце глав. — ISBN 978-5-94836-264-9: 1300.00 р.
Первое издание справочника по нанотехнологиям. выпущенное крупнейшим немецким издательством "Шпрингер" в 2004 году, заявило о себе как об основном источнике информации в области научных знаний о нанотехнологиях. Справочник объединяет сведения по технология, механике. материаловедению и надежности. Второе издание увеличилось с 6 до 8 частей, с 38 до 58 глав. Первая часть - введение в наноструктуры и технологии изготовления микро- и наноструктур. включая используемые при этом методы и материалы. Вторая часть справочника посвящена МЭМС/НЭМС и БиоМЭМС/БиоНЭМС приборам. Различные типы сканирующей зондовой микроскопии рассмотрены в третьей части. Четвертая часть посвящена обору нанотрибологии и наномеханики. Обзор смазок на пленках молекулярной толщины представлен в пятой части справочника. Шестая часть знакомит читателя с некоторыми применениями нанотехнологий в промышленном масштабе. седьмая сфокусирована на надежности микроприборов. И, наконец, последняя посвящена технологической конвергенции, которую несут с собой нанотехнологии, в ней также рассмотрены социальные, этические и политические последствия нанотехнолоий. Предметный указатель приведен в конце третьего тома. Книга подготовлена опытным редактором и написана командой из 150 известных международных экспертов. Она адресована инженерам-механикам и инженерам-электрикам. специалистам по материаловедению, медикам и химикам, которые работают в области нано-, или в областях, так или иначе связанных с этой новой важнейшей технологией.
|