Вакуумная техника: справочник / К. Е. Демихов [и др.] ; под общ. ред. К. Е. Демихова, Ю. В. Панфилова. — 3-е изд., перераб. и доп. — М.: Машиностроение, 2009. — 590 с.: ил. — Библиогр.: с. 579-581. — Предм. указ.: с. 582-589. — ISBN 978-5-94275-436-5: 1155.00 р.
Содержит основные сведения по теории вакуума, расчету, конструированию и эксплуатации вакуумных систем и их элементов. Приведены физико-механические характеристики материалов, применяемых для изготовления элементов вакуумной аппаратуры, методы ее сборки и отладки, правила эксплуатации. Описаны приборы для измерения полного и парциального давления газа в вакуумных системах, методы и средства течеискания. Даны сравнительные характеристики отечественных и зарубежных образцов вакуумной техники. 3-е издание (2-е изд. в 1992 г.) дополнено разделами по вакуумным смазкам и герметикам, нераспыляемым газопоглотителям, элементам газовых систем вакуумного технологического оборудования, безмасляным форвакуумным насосам, а также сравнительными характеристиками отечественных и зарубежных средств для получения вакуума и других элементов вакуумных систем. Для инженерно-технических работников и специалистов, занимающихся конструированием, изготовлением и эксплуатацией вакуумных систем, а также для студентов технических вузов.