Книга, посвященная памяти выдающегося ученого современности Кирилла Ильича Замараева, приурочена к 70-летию со дня его рождения. Имя Кирилла Ильича широко изветсно в России и за рубежом как выдающегося российского ученого, крупного организатора науки, талантливого педагога, внесшего большой вклад в развитие химической физики и науки о катализе. Основную часть книги составляет очерк научной деятельности и избранные научные труды акад. К. И. Замараева, посвященные актуальным проблемам химической физики и каталитической химии. работы К. И. Замараева служат развитию каталитической химии будущего. В очерках и воспоминаниях родственников, учеников, коллег отражен образ замечательной, цельной личности, крупного ученого и организатора науки, блестящего педагога, мудрого учителя и патриота нашей страны. Книга рассчитана а широкий круг читателей, интересующихся историей развития отечественной науки, жизнью и деятельностью выдающихся ученых.

Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии — реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

На основе учения о строении атома, химической связи и строения молекул рассмотрен теоретический материал курса. Химия отдельных элементов дана в связи с их положением в периодической системе Д. И. Менделеева. В третьем издании (2-е изд. вышло в 1976 г.) помещены новые главы ("Комплексные соединения" и "Охрана окружающей среды") и параграфы ("Оболочечная модель ядра атома и устойчивость изотопов", "Производство минеральных удобрений", "Химические источники тока" и ряд других). Заново написан параграф "Электролиз", дополнены многие разделы книги. Отражено значение химии для понимания научной картины мира и формирование диалектико-материалистического мировоззрения. Предназначено для учащихся химических и химико-технологических техникумов. Полезно также учащимся средних школ.

Данное учебное пособие предназначено для сотрудников предприятий, занятых разработкой и изготовлением плазмохимического оборудования для повышения их квалификации путем приобретения компетенций в области плазмохимических технологий травления и осаждения материалов электронной и микросистемной техники. Пособие может быть полезно студентам старших курсов, обучаемых в рамках направлений «Наноматериалы» и «Материаловедение и технология материалов» по профилям, относящимся к технологии изделий микроэлектроники и микросистемной техники. В настоящем учебном пособии обсуждаются принципы построения плазмохимического оборудования, основанного на использовании низкотемпературной плазмы, создаваемой с помощью газовых разрядов при пониженных давлениях, основы процессов травления микроэлектронных структур, закономерности процессов плазмохимического травления и примеры их использования для травления разнообразных материалов, а также плазмохимические процессы осаждения слоев на примере нитрида кремния, как одних из наиболее сложных и трудных для практической реализации.

В монографии рассмотрены актуальные вопросы транспортировки в воздушной среде высокоинтенсивного лазерного излучения, генерирования и диагностики плазмы ВЧ-разрядов. Проанализированы плазмохимические процессы, протекающие в воздушной плазме. Особое внимание уделено практическим приложениям проведенных исследований.Книга предназначена для специалистов в области оптики атмосферы и атмосферного электричества, разработчиков лазерных и ВЧ-технологий, нетрадиционных методов передачи энергии и контроля состояния окружающей среды.

В монографии освещены различные аспекты катализа процессов получения синтетических жидких и газообразных топлив, органических веществ из угля и древесины. Рассмотрены особенности применения катализаторов в переработке твердого топлива, примеры использования гомо- и гетерогенных катализаторов окислительно-восстановительного и кислотно-основного действия в процессах пиролиза, окисления, газификации, ожижения угольного и растительного сырья, гидролиза и делигнификации древесины. Обсуждены вопросы создания экологически уравновешенных технологий комплексной переработки твердого органического сырья на базе интегрирования каталитических процессов. Книга представляет интерес как для научных сотрудников, специализирующихся в области катализа, углехимии, химической переработки древесины, так и для инженерно-технических работников химической, углехимической, лесохимической, целлюлозно-бумажной отраслей промышленности. Монография может быть полезна при чтении курсов лекций по вопросам органического катализа, углехимии и лесохимии.