Структурно-фазовое состояние нанокристаллических покрытий нитридов металлов: научное издание / А. Д. Коротаев [и др.]; Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск), Сибирский физико-технический институт им. В.Д. Кузнецова (Томск), Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск) //
М.
Методом ПЭМ исследовано структурно-фазовое состояние и дефектная структура нанокомпозитных покрытий TiN/Cu, AlN/Cu на подложках из нержавеющей стали и сплава ВТ-20. Установлено, что в процессе роста покрытия AlN/Cu формируется однородная по толщине гетерофазная нанокристаллическая структура, содержание металлической фракции в которой не превышает 10%.