В монографии анализируется влияние ионизирующих излучений (ИИ), преимущественно космического пространства, на характеристики изделий микро- и наноэлектроники. Рассмотрены: основы физики взаимодействий ИИ с полупроводниками; изменение электрофизических параметров приборных структур в результате образования наноразмерных дефектов под действием ИИ; дозовые ионизационные эффекты в структуре Si/Si02 и их влияние на характеристики приборов и микросхем; особенности радиационных испытаний изделий, изготовленных по МОП-, КМОП-, а также по биполярной технологии, на стойкость к воздействию низкоинтенсивного ИИ; одиночные события в изделиях микро- и наноэлектроники при воздействии отдельных заряженных частиц. Для технических специалистов, работающих в области электроники, а также для студентов и аспирантов.

Данное учебное пособие предназначено для сотрудников предприятий, занятых разработкой и изготовлением плазмохимического оборудования для повышения их квалификации путем приобретения компетенций в области плазмохимических технологий травления и осаждения материалов электронной и микросистемной техники. Пособие может быть полезно студентам старших курсов, обучаемых в рамках направлений «Наноматериалы» и «Материаловедение и технология материалов» по профилям, относящимся к технологии изделий микроэлектроники и микросистемной техники. В настоящем учебном пособии обсуждаются принципы построения плазмохимического оборудования, основанного на использовании низкотемпературной плазмы, создаваемой с помощью газовых разрядов при пониженных давлениях, основы процессов травления микроэлектронных структур, закономерности процессов плазмохимического травления и примеры их использования для травления разнообразных материалов, а также плазмохимические процессы осаждения слоев на примере нитрида кремния, как одних из наиболее сложных и трудных для практической реализации.

Книга посвящена истории становления отечественной инфракрасной техники и электронной оптики на основе изучения сохранившихся в архиве НПО «Орион» подлинников научно-технических отчетов, писем и других документов по проблемам инфракрасной и лазерной физики, электронной оптики, приборов ночного видения и тепловидения, разрабатывавшихся в Советском Союзе. Приведены основные научно-технические результаты по созданию электронно-оптических преобразователей и приборов ночного видения, тепловизионных приборов, полупроводниковых приемников инфракрасного излучения, лазерных приборов и устройств, развитию электронной микроскопии, электронно-лучевых и ионно-плазменных технологий, специальной микроэлектроники обработки фотосигналов, систем охлаждения, полупроводниковых материалов для фотоэлектроники, исследованиям в области физики полупроводников. Книга будет полезна как разработчикам детекторов оптического излучения, так и разработчикам оптико-электронной аппаратуры, а также студентам вузов, интересующимся вопросами конструирования и применения приборов ИК-техники.