В книге рассмотрены основные современные направления развития криогенной техники, показана прогрессивная роль криогеники в решении задач развития таких базовых отраслей промышленности, как энергетика, машиностроение, химия, металлургия. Описаны конструкции криогенных систем и установок, созданных в последние годы в Советском Союзе. рассмотрены научные основы проектирования криогенных систем, дана теория соответствующих процессов. Для инженерно-технических работников, занимающихся вопросами создания и внедрения криогенных систем, дана теория соответствующих процессов.Для инженерно-технических работников, занимающихся вопросами создания и внедрения криогенных систем и оборудования в различных отраслях народного хозяйства.

Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии — реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.