Предложена связанная модель формирования покрытия на поверхности детали цилиндрической формы при осаждении из плазмы, учитывающая явления термодиффузии, диффузионной теплопроводности, переноса массы под действием градиента напряжений и образования химических соединений. Скорость роста покрытия считается заданной функцией скоростей частиц и их концентрации вблизи поверхности растущего покрытия. Задача решается численно. Показано, что в процессе роста перекрестные диффузионные потоки, диффузионная теплопроводность и термодиффузия приводят к уменьшению ширины переходной зоны между подложкой и покрытием. Это влияние становится наиболее существенным в случае, если подложка обладает низкой теплопроводностью. Учет напряжений в системе покрытие — подложка, возникающих в процессе осаждения, приводит к изменению эффективных коэффициентов переноса и оказывает значительное влияние на результат моделирования распределения химических элементов и их соединений в покрытии.

На основании полученных экспериментальных данных по окислению газообразных олефинов и гексена-1 в плазме БР и данных теоретических расчетов обоснована возможность протекания реакции окисления по двум направлениям: 1) взаимодействие атомарного кислорода с двойной связью олефина, протекающее по нецепному механизму; 2) образование алкенильного радикала как в результате диссоциации пропилена под действием электронного удара, так и путем взаимодействия колебательно-возбужденной молекулы олефина с кислородом и его последующее участие в радикально-цепных реакциях окисления.

Исследовано влияние добавок азота, аргона и гелия на процесс окисления пропилена в барьерном разряде. Показано, что добавление азота и аргона к исходной смеси приводит к увеличению выхода окиси пропилена, а гелия - к снижению выхода окиси. Конверсия пропилена увеличивается при добавлении азота, аргона и гелия.