Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии — реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

В книге рассмотрены методы и схемотехнические решения построения цифро-частотных и время-импульсных преобразователей информации, обеспечивающих преобразование сигналов различных датчиков физических величин в вид, пригодный для дальнейшей обработки получаемой с них информации цифровыми методами. Рассмотрена техническая реализация, основанная на использовании как элементов жесткой логики, так и программируемых устройств, использующих современные микроконтроллеры. Приведены параметры специализированных интегральных микросхем цифро-частотной обработки информации и некоторых популярных микроконтроллеров. Книга предназначена разработчикам измерительно-вычислительных устройств и может быть полезной студентам и аспирантам по специальности «Автономные информационные и управляющие системы».

Рассмотрены начала технологического проектирования производства деталей. Представлены схемы настройки станков. Описаны основы проектирования технологической оснастки. Приведены рекомендуемые этапы проектных работ, их содержание и последовательность выполнения, а также порядок и методики выполнения различных инженерных расчетов. Даны примеры, позволяющие интенсифицировать практические занятия. Для студентов высших учебных заведений.