| 236 |
|
Обработка монокристаллов в микроэлектронике: монография / В. И. Карбань, Ю. И. Борзаков. — М.: Радио и связь, 1988. — 103 с.: ил. — (Массовая библиотека инженера "Электроника"). — Библиогр.: с. 96-102. — ISBN 5-256-00139-6: 0.40 р.
|
| 237 |
|
Напряжения и деформации в элементах микросхем: монография / В. С. Сергеев [и др.]. — М.: Радио и связь, 1987. — 88 с.: ил. — (Массовая библиотека инженера "Электроника"). — Библиогр.: с.86-89. — 0.35 р. |
| 238 |
|
Плазменное анодирование. Физика, техника, применение в микроэлектронике: монография / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов. — Минск: Навука i тэхнiка, 1990. — 280 с.: ил. — Библиогр.: с. 252-276. — ISBN 5-343-00522-5: 2.80 р.
|
| 239 |
|
Проблемы субмикронной технологии: сборник научных трудов / Рос. АН, Физико-технологический институт; отв. ред. тома А. А. Орликовский. — М.: Наука, 1993. — 113 с.: ил. — (Труды Физико-технологического института РАН / гл. ред. К. А. Валиев, 0868-7129). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-02-006991-4: 200.00 р. |
| 240 |
|
Проблемы микроэлектронной технологии: сборник научных трудов / Рос. АН, Физико-технологический институт; отв. ред. тома Л. В. Великов. — М.: Наука, 1994. — 78 с.: ил. — (Труды Физико-технологического института РАН / гл. ред. К. А. Валиев, 0868-7129). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-02-007019-X: 600.00 р. |