В книге даны основные представления о физике вакуума; рассмотрены процессы переноса при низких давлениях, сорбционные процессы, течение газов по трубопроводам; обсуждены принципы действия основных типов вакуумных насосов, их характеристики и возможности непользования в различных системах откачки; описаны способы измерения вакуума, анализ парциальных давлений, течеискание; приведены типовые схемы вакуумных машин и установок, дан общий порядок расчета и проектирования вакуумных систем.Предназначается для студентов специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение".

Комплект томов содержит статьи, рассмотренные Местным организационным комитетом по полномочиям Международного научного комитета и принятые для предварительной публикации на стендовых сессиях. На каждый день конференции выделен один том. В каждом томе доклады упорядочены по темам, соответствующим стендовым сессиям.Том, содержащий представленные доклады, опубликован после конференции в качестве специального выпуска Journal of Technical Physics.