Микроэлектроника: сборник тезисов докладов. — М.: Институт общей физики АН СССР, 1984. — 104 с.: ил. — Библиогр. в конце ст.
В настоящий сборник включены рабочие материалы симпозиума по теме сотрудничества "Создание научного задела для микроэлектроники" АН ГДР и АН СССР (г. Москва, СССР, 15-20 октября 1984 г.), посвященного результатам совместных работ по исследованию материалов, технологических процессов и приборов микроэлектроники.