В справочнике приведены физико-химические характеристики различных веществ, сведения по номенклатуре химических соединений, метрологии, лабораторной технике, технике безопасности и ряду других вопросов, представляющих интерес для химиков различной квалификации. Для широкого круга работников химических специальностей и смежных профессий, работников производственных, аналитических и научно-исследовательских лабораторий, а также преподавателей, студентов вузов и учащихся техникумов.

Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств. Для инженерно-технических работников, мастеров и квалифицированных рабочих, занимающихся производством МЭУ.