| 186 |
|
Проблемы субмикронной технологии: сборник научных трудов / Рос. АН, Физико-технологический институт; отв. ред. тома А. А. Орликовский. — М.: Наука, 1993. — 113 с.: ил. — (Труды Физико-технологического института РАН / гл. ред. К. А. Валиев, 0868-7129). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-02-006991-4: 200.00 р. |
| 187 |
|
Проблемы микроэлектронной технологии: сборник научных трудов / Рос. АН, Физико-технологический институт; отв. ред. тома Л. В. Великов. — М.: Наука, 1994. — 78 с.: ил. — (Труды Физико-технологического института РАН / гл. ред. К. А. Валиев, 0868-7129). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-02-007019-X: 600.00 р. |
| 188 |
|
Проблемы микроэлектронной технологии: сборник научных трудов / Рос. АН, Физико-технологический институт; отв. ред. тома А. А. Орликовский. — М.: Наука, 1994. — 128 с.: ил. — (Труды Физико-технологического института РАН / гл. ред. К. А. Валиев, 0868-7129). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-02-007030-0: 1350.00 р. |
| 189 |
|
Проблемы литографии в микроэлектронике: сборник научных трудов / АН СССР, Институт общей физики; отв. ред. тома Т. М. Махвиладзе. — М.: Наука, 1987. — 149 с.: ил. — (Труды Института общей физики АН СССР / гл. ред. А. М. Прохоров). — 1.90 р. |
| 190 |
|
Обеспечение тепловых режимов при конструировании радиоэлектронной аппаратуры: монография / Л. Л. Роткоп, Ю. Е. Спокойный. — М.: Советское радио, 1976. — 230 с.: ил. — Библиогр.: с. 226-228. — Предм. указ.: с. 229. — 1.16 р.
|