| 1 |
|
Технология материалов микро- и наноэлектроники: монография / Л. В. Кожитов [и др.]; Минобрнауки России, Юго-Зап. гос. ун-т. — 2-е изд., перераб. и испр. — Курск: ЮЗГУ, 2012. — 860, [1] с.: ил.; 21 см. — Авт. указаны на обороте тит. л. — Библиогр. в конце гл. — ISBN 978-5-7681-0760-4: 889.52 р.
Приведены теоретические основы и математические модели процессов выращивания монокристаллов полупроводников из расплава. Рассмотрены основы эпитаксиального роста плёнок полупроводников и оборудование для их производства, а также процессы плазмохимических технологий и высокоэнергетичных воздействий получения материалов для электроники. Изложены основные методы получения современных нанокомпозитных материалов на основе углерода, проанализированы основные модели процессов, определены перспективы развития технологий. Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в области получения и исследования материалов микро- и наноэлектроники, а также может быть использована для подготовки специалистов по таким направлениям, как 210100 «Электроника и наноэлектроника», 152200 «Наноинженерия», 222900 «Нанотехнологии и микросистемная техника».
|
| 2 |
|
Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: [учеб. пособие для вузов по направлению подгот. 210100 "Электроника и микроэлектроника"] / А. А. Раскин, В. К. Прокофьева. — Б. м., 2010. — 164 с.: ил. — Библиогр.: с. 164. — ISBN 978-5-94774-909-0: 240.00 р.
В учебном пособии рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто- и наноэлектронике, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья, очистка в виде соединений, финишное рафинирование, получение монокристаллов с заданными свойствами. Для студентов, обучающихся по направлению "Электроника и микроэлектроника": полезно также специалистам. работающим в соответствующей области.
|
| 3 |
|
Справочник по технологии микроэлектронных устройств: справочное издание / З. Ю. Готра. — Львов: Каменяр, 1986. — 287 с.: ил. — Библиогр.: с. 284-285. — 1.00 р.
В справочнике приводятся данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах очистки, механической, химической и электромеханической обработки. Рассмотрены вопросы диффузии, эпитаксии, выращивания монокристаллов полупроводников, вакуумного напыления, литографии и сборки в производстве микроэлектронных устройств. Для специалистов, работающих в области технологии микроэлектронных устройств, может быть полезен учащимся профтехучилищ соответствующего профиля.
|
| 4 |
|
Полупроводниковые материалы в современной электронике: монография / М. Г. Мильвидский. — М.: Наука, 1986. — 143 с.: ил. — (Проблемы науки и технического прогресса). — Библиогр.: с. 146. — 0.50 р.
|
| 5 |
|
Электронные явления в халькогенидных стеклообразных полупроводниках: монография / Рос. АН, Физико-технический ин-т им. А. А. Иоффе; Л. П. Казакова [и др.] ; отв. ред. К. Д. Цэндин. — СПб.: Наука, 1996. — 486 с.: ил., табл. — Библиогр.: с. 469-472. — ISBN 5-02-024812-6: 31000.00 р. |
| 6 |
|
Методы измерения параметров полупроводниковых материалов: учеб. для вузов по спец. "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы" / Л. П. Павлов. — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Высшая школа, 1987. — 237 с.: ил. — Библиогр.: с. 237. — 0.85 р.
|
| 7 |
|
Технология спецматериалов электронной техники: учеб. пособие для техникумов по спец. 2001 "Технология материалов электронной техники" / А. Я. Нашельский. — М.: Металлургия, 1993. — 368 с.: ил. — Библиогр.: с. 360. — ISBN 5-229-01064-9: 4000.00 р.
|
| 8 |
|
Диэлектрики в наноэлектронике / В. А. Гриценко [и др.] ; отв. ред. А. Л. Асеев, рец.: В. Н. Овсюк, О. П. Пчеляков; Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН. — Новосибирск: Изд-во СО РАН, 2010. — 257 с.: ил. — Библиогр. в конце глав. — ISBN 978-5-7692-1081-5: 5.00 р.
Монография посвящена физике и применению диэлектрических пленок в кремниевых приборах наноэлектроники. Рассмотрены строение пленок оксида и нитрида кремния, полупроводниковые нанокристаллы в диэлектрических пленках, электронная структура диэлектриков с высокойо диэлектрической проницаемостью, технология структур кремний-на-изоляторе, физика приборов флэш-памяти. Монография предназначена для научных сотрудников и и инженеров, специализирующихся в области физики полупроводников и полупроводниковых приборов, бакалавров. магистрантов и аспирантов, обучающихся по микроэлектронике и физике твердого тела.
|
| 9 |
|
Материаловедение полупроводников и металловедение: учеб. пособие для вузов / С. С. Горелик, М. Я. Дашевский. — М.: Металлургия, 1973. — 500 с.: ил. — Библиогр.: с. 495-500. — 3.21 р.
|
| 10 |
|
Энциклопедия технологии полупроводниковых материалов / под ред. К. А. Джексона, В. Шретера ; пер. с англ. под ред. Э. П. Домашевской. — Воронеж; : Водолей , Б.г.
Т. 1 : Электронная структура и свойства полупроводников. — , 2004. — 982 с.: ил. — Библиогр. в конце глав. — Предм. указ.: с. 931-967. — ISBN 5-88563-041-0: 100.00 р.
|