Распределение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при термической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздействие различных излучений, полей и др. Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем устанавливается путем рассмотрения проблем межфазного взаимодействия в неравновесных микрогетерогенных системах, совместимости контактирующих материалов, анализа критериев, позволяющих прогнозировать физико-химический характер взаимодействия с использованием диаграмм фазовых равновесий. Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических микроэлектронных устройств, аспирантов и специалистов.

Изложены основные положения теории резания конструкционных материалов, приведены рекомендации по механической обработке резанием современных материалов предложены способы повышения надежности режущего инструмента, включая мелкоразмерный. Рассмотрены методы обработки конструкционных материалов в зависимости от видов обрабатываемых поверхностей. значительное внимание уделено прогрессивным методам обработки: вибрационному и сверхскоростному резанию, электрофизическим и комбинированным методам и т. д. Предложена методика автоматизированного выбора методов обработки поверхностей. Первое издание - 2006 г. Содержание учебника соответствует курсу легкий, который авторы читают в МГТУ им. Н. Э. Баумана и Ижевском государственном техническом университете. Приведенные в книге материалы могут быть полезны слушателям Межотраслевого института повышения квалификации кадров по новым направлениям развития техники и технологии МГТУ им. Н. Э. Баумана. Для студентов машиностроительных специальностей вузов. Будет полезен инженерно-техническим работникам, специализирующимся в области обработки конструкционных материалов.

Приведены основные сведения по наноматериаловедению, введено понятие о критическом диаметре наночастиц, представлена методика, а также расчетные и экспериментальные результаты определения верхнего предела наноразмерного интервала дисперсных частиц вещества, теоретически обоснована и практически реализована принципиальная возможность моностадийной технологии объемных наноматериалов, приведены технические данные для выбора основных направлений практического использования достижений наноматериаловедения применительно к будущей специальности студента. Для студентов высших технических учебных заведений, обучающихся по циклу специальностей 190000 "Транспортные средства". Может быть полезна всем студентам высших технических учебных заведений, а также инженерно-техническим работникам, независимо от их будущей или уже приобретенной специальности. в качестве вводного курса в научно-техническое направление "Наноматериалы".