Настоящий сборник составлен из докладов, прочитанных на 7-м Национальном симпозиуме по вакуумной технике (США, октябрь 1960 г.). Описываются вопросы конструирования насосов, вакуумных установок и их деталей, методы и аппаратура для определения газосодержания материалов, результаты физических исследований ионно-сорбционных процессов и процессов распыления материалов в вакууме ионами различных энергий, методы и аппаратура для получения тонких пленок, вопросы вакуумной метрики.Сборник предназначен для инженерно-технических и научных работников, занимающихся разработкой и изготовлением вакуумного оборудования и электровакуумных приборов, а также исследованиями в этих областях науки и техники. Сборник будет полезен также специалистам, которые в своей работе соприкасаются с использованием вакуумного оборудования.

Содержит основные сведения по теории вакуума, расчету, конструированию и эксплуатации вакуумных систем и их элементов. Приведены физико-механические характеристики материалов, применяемых для изготовления элементов вакуумной аппаратуры, методы ее сборки и отладки, правила эксплуатации. Описаны приборы для измерения полного и парциального давления газа в вакуумных системах, методы и средства течеискания. Даны сравнительные характеристики отечественных и зарубежных образцов вакуумной техники. 3-е издание (2-е изд. в 1992 г.) дополнено разделами по вакуумным смазкам и герметикам, нераспыляемым газопоглотителям, элементам газовых систем вакуумного технологического оборудования, безмасляным форвакуумным насосам, а также сравнительными характеристиками отечественных и зарубежных средств для получения вакуума и других элементов вакуумных систем. Для инженерно-технических работников и специалистов, занимающихся конструированием, изготовлением и эксплуатацией вакуумных систем, а также для студентов технических вузов.

В книге даны основные представления о физике вакуума; рассмотрены процессы переноса при низких давлениях, сорбционные процессы, течение газов по трубопроводам; обсуждены принципы действия основных типов вакуумных насосов, их характеристики и возможности непользования в различных системах откачки; описаны способы измерения вакуума, анализ парциальных давлений, течеискание; приведены типовые схемы вакуумных машин и установок, дан общий порядок расчета и проектирования вакуумных систем.Предназначается для студентов специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение".

В книге изложены вопросы, связанные с проектированием и эксплуатацией вакуумного оборудования. Рассмотрены теоретические основы вакуумной техники. Описаны конструкции элементов вакуумных систем, откачных машин, напылительных установок. Изложена методика проектирования вакуумных систем по коэффициенту использования насосов, имеются примеры расчетов для типовых вакуумных систем различных машин.Книга предназначена для инженерно-технических работников, проектирующих и эксплуатирующих вакуумное оборудование. Она также может быть полезна студентам вузов, специализирующихся по электровакуумному и полупроводниковому оборудованию.

Современную науку, технику, промышленность и даже медицину нельзя представить без применения вакуумных устройств и технологий, от упаковки продуктов до производства традиционных и новых материалов, создания научных приборов и телевизоров, источников света и интегральных схем. Учебно-справочное руководство посвящено в первую очередь инженерным вопросам создания, поддержания и измерения различных уровней вакуума для огромного множества практических задач. При этом даны и необходимые сведения научного характера, позволяющие понять критерии выбора технических решений, принципы работы приборов и установок, физические предпосылки для рационального применения материалов и использования новейшего оборудования. Подобное универсальное руководство создано впервые. Оно включает в себя примеры проектирования реальных вакуумных систем и справочные таблицы по характеристикам оборудования мировых и отечественных производителей. Для студентов и преподавателей инженерно-физических факультетов и технических университетов, инженеров-разработчиков и практиков.

Справочник содержит основные сведения по теории вакуума, расчету, конструированию и эксплуатации вакуумных систем и их элементов. Приведены физико-механические характеристики материалов, применяемых для изготовления элементов вакуумных систем. Даны примеры конструктивного выполнения вакуумной аппаратуры, методы ее сборки и отладки, правила эксплуатации. Описаны приборы для измерения давления в вакуумных системах и контроля степени их негерметичности. Для инженерно-технических работников, занимающихся конструированием, производство и эксплуатацией вакуумных систем.

Справочник содержит основные сведения по теории вакуума, расчету, конструированию и эксплуатации вакуумных систем и их элементов. Приведены физико-механические характеристики материалов, применяемых для изготовления элементов вакуумных систем. Даны примеры конструктивного выполнения вакуумной аппаратуры, методы ее сборки и отладки, а также правила эксплуатации основных видов вакуумного оборудования. Описаны приборы для измерения давления в вакуумных системах, рассмотрены методы определения негерметичности вакуумных систем, а также методы измерения и расчета основных параметров вакуумных систем. Для инженерно-технических работников, занимающихся созданием и эксплуатацией вакуумных систем.

В книге приняли участие 36 известных специалистов по вакуумной электронике. Несмотря на ограниченный объём, авторам удалось изложить принцип работы, технические возможности и области применения основных электровакуумных приборов и устройств, что позволяет использовать книгу в качестве своеобразного справочника или учебного пособия для студентов высших учебных заведений и специалистов, занимающихся вопросами разработки и применения электронных компонентов в различных системах радиоэлектроники. Книга написана доступным языком, методически сбалансирована, что позволило при редактировании ограничиться минимальным количеством замечаний.

Монография посвящена проблеме повышения электрической прочности вакуумной изоляции. Изложены механизм инициирования импульсного пробоя, критерий оптимальности и методы оценки электрической прочности, достигаемой при реализации оптимальных режимов импульсного кондиционирования, экспериментальные результаты, составившие основу импульсных технологий повышения электрической прочности вакуумных промежутков с цельнометаллическими и напыленными пленочными электродами, технологии устранения автоэмиссионных явлений в микроканальных усилителях яркости. Для специалистов в области вакуумных и газовых разрядов, электрофизики, электротехнологий, высоковольтной электротехники, разработчиков высоковольтной электровакуумной и фотоэлектронной аппаратуры. Может быть полезной студентам соответствующих специальностей.

Пособие посвящено описанию основных закономерностей физики разреженных газов, теоретических основ процесса откачки газов и паров, взаимодействию газов с поверхностью, технике получения вакуума, измерения полных и парциальных давлений, основам построения вакуумных систем. Описаны основы общей теории рефрижераторов и ожижителей, общие принципы построения схем криогенных установок, представлены принципиальные схемы наиболее распространенных рефрижераторов с нестационарными потоками. Предназначено для магистрантов высших учебных заведений, обучающихся по магистерским программам направления подготовки 140400 «Техническая физика», предусматривающим изучение и использование вакуумной физики и физики низких температур (в том числе и для студентов, осваивающих инновационную магистерскую программу СПбГПУ «Биоэлектроника» данного направления). Может быть использовано обучающимися по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника», а также аспирантами и специалистами, работающими в экспериментальной технической физике.

Физика и техника низких температур — неотъемлемая составляющая фундаментальной науки (от физики твердого тела до ускорителей элементарных частиц), ракетной техники, новейших индустриальных и даже медицинских технологий. Книга о новейших достижениях в этих областях с позиций экспериментальной техники создана известными итальянскими специалистами. Руководство содержит как базовые сведения о свойствах материалов при низких температурах, традиционных приборах и методах измерений, так и о последних разработках, использовании новых конструкционных материалов и практике работы с криостатами растворения, продвижении в область милли- и микрокельвинов. Отдельные главы посвящены сверхпроводящим магнитам и экранам, измерению тепловых и механических характеристик, криогенным детекторам излучения. Для студентов и преподавателей физических факультетов и технических университетов, научных работников и инженеров-разработчиков.

Коллективная монография, написанная американскими учеными - создателями новой области технической физики и техники сильноточных высоковольтных коммутаторов, круг применения которых стремительно разрастается. Книга посвящена основным вопросам физики вакуумных дуг и обзору современного состояния коммутационной техники.Для специалистов по физической электронике и коммутационной технике, а а также для аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.

Книга крупного специалиста в области вакуумной техники, академика Польской Академии наук и почетного члена ряда зарубежных академий Я. Грошковского представляет собой монографию, в которой на современном уровне рассматриваются физика и техника высокого вакуума, методы его получения и измерения. Это существенно переработанное и дополненное издание книги "Технология высокого вакуума" того же автора, которая вышла в русском переводе в 1957 г. и приобрела широкую известность среди специалистов.Книга отличается четкостью структуры и ясностью изложения. Поэтому она окажется полезной широкому кругу научных работников, преподавателей высших учебных заведений, инженеров, заводских лабораторий, химиков, металлургов и других специалистов, а для студентов вузов соответствующих специальностей она будет хорошим учебным пособием.

Вакуумная электроизоляция и самостоятельный разряд в вакууме широко используются в современной науке и технике. Однако успешное их применение часто представляет сложную задачу, тем более что некоторые процессы, возникающие в вакууме при наличии высокого напряжения, изучены недостаточно полно. В книге излагаются и систематизируются экспериментальные данные о разнообразных процессах, возникающих в результате приложения постоянного, импульсного или высокочастотного напряжения к электродам и изоляторам, находящимся в вакууме. Кроме многочисленных сведений прикладного характера, книга содержит подробное описание и анализ физической картины и существующих теорий рассматриваемых процессов.

Материалы сборника отражают результаты научных исследований, ведущихся в МФТИ и базовых предприятиях института в области вакуумной и полупроводниковой электроники, охватывающей основные направления развития современной электроники и лазерной техники. Данный сборник полезен студентам и аспирантам, специализирующимся в области физической и квантовой электроники, а также специалистам, разрабатывающим приборы электронной и лазерной техники.

В настоящей монографии впервые физика всех трех стадий вакуумного рязряда: пробоя, искры и дуги - изложена с единых позиций. В основе всех этих стадий лежат два фундаментальных процесса. Во-первых, это микроскопические взрывы на поверхности катода и взрывная эмиссия электронов, которая происходит в виде отдельных порций электронов, названных автором эктонами. Во-вторых, это взаимодействие плазмы, образуемой этими микровзрывами, с поверхностью катода. В результате этого взаимодействия возникают новые микровзрывы, что приводит к самоподдержанию разряда. Как правило, микроскопические взрывы происходят за счет джоулева разогрева, обусловленного большой плотностью тока в микрообъемах катода.Для физиков, изучающих электрические разряды, инженеров-электриков, занимающихся созданием вакуумного электрофизического оборудования, а также для студентов, изучающих электрофизику, электроэнергетику, технику высоких напряжений и сильноточную электронику.

Данное учебное пособие предназначено для сотрудников предприятий, занятых разработкой и изготовлением плазмохимического оборудования для повышения их квалификации путем приобретения компетенций в области плазмохимических технологий травления и осаждения материалов электронной и микросистемной техники. Пособие может быть полезно студентам старших курсов, обучаемых в рамках направлений «Наноматериалы» и «Материаловедение и технология материалов» по профилям, относящимся к технологии изделий микроэлектроники и микросистемной техники. В настоящем учебном пособии обсуждаются принципы построения плазмохимического оборудования, основанного на использовании низкотемпературной плазмы, создаваемой с помощью газовых разрядов при пониженных давлениях, основы процессов травления микроэлектронных структур, закономерности процессов плазмохимического травления и примеры их использования для травления разнообразных материалов, а также плазмохимические процессы осаждения слоев на примере нитрида кремния, как одних из наиболее сложных и трудных для практической реализации.

Справочник содержит информацию о современных неметаллических полимерных машиностроительных материалах. Он создан авторским коллективом специалистов ФГУП "ЦНИИ КМ "Прометей" под руководством В. Е. Бахаревой и Г. И. Николаева. Справочник обобщает опыт большого научного коллектива и посвящен разработке новых полимерных композиционных материалов, технологии изготовления из них машиностроительных, электротехнических, корпусных деталей, теплозвукоизоляционных, конструктивно- и декоративно-отделочных материалов, а также организации промышленного производства и внедрения их в промышленность. Первая часть справочника посвящена характеристике антифрикционных полимерных материалов в триботехнике. Особое внимание уделено новым антифрикционным высокопрочным углепластикам и конструкциям на их основе. Во второй части справочника подробно описаны электротехнические радиопрозрачные полимерные композиционные материалов (ПКМ). Части третья и шестая посвящены применению звукоизоляционных, конструктивно- и декоративно-отделочных материалов, а в части седьмой - сведения по применению и свойствам лакокрасочных покрытий. Восьмая часть посвящена средствам и системам электрохимической катодной и протекторной защиты. Справочник предназначен для научных, инженерно-технических работников, научно-исследовательских институтов, машиностроительных, в том числе судостроительных и приборостроительных предприятий, работников топливно-энергетического комплекса, энергетического и тяжелого машиностроения, обслуживающего персонала гидротурбин, насосов, судовых механизмов, трубопроводов и арматуры, проектно-конструкторских организаций. Он может быть также использован в качестве учебного пособия преподавателями, аспирантами и студентами университетов.

Описаны физические основы добычи нефти и газа, а также разработки нефтяных месторождений. Рассмотрены способы эксплуатации скважин - фонтан, газлифт, штанговыми и бесштанговыми насосными установками. Затронуты вопросы методики подбора выпускаемого оборудования и его характеристик для указанных способов эксплуатации. Рассмотрены процессы поддержания пластового давления, повышения нефтеотдачи пластов, сбора и подготовки нефти, газа и воды на промысле, а также подземного ремонта скважин. Описаны техника и технология проводимых процессов. Для инженерно-технических работников, занятых в области добычи нефти, и студентов нефтяных вузов и техникумов.

Книга представляет собой второй том статей по ядерной энергетике, выходящих в США под редакцией Гудмена. (Всего должно выйти 3 тома.)??Второй том содержит статьи по отдельным вопросам, связанным с получением ядерной энергии, и предназначен для читателя, уже знакомого с основными статьями первого тома. Первая глава американского издания, посвященная вопросу о геологических запасах некоторых элементов, применяющихся в ядерной энергетике, была опущена при переводе, так как данные, приведенные в ней, взяты из весьма сомнительных источников и в таком виде эта глава не представляет интереса для советского читателя. Сокращена также часть последней главы, как не имеющая прямого отношения к затронутым в книге вопросам.

В справочнике приведены основы термической обработки металлов и впервые широко освещены современное российское и зарубежное оборудование для термической обработки, организация технологического процесса, контроль качества и техника безопасности. Подробно рассмотрены технологии закалки, нормализации, отжига, отпуска и старения, химико-термическая обработка (цементация, азотирование, металлизация), объемная и объемно-поверхностная закалка, применение токов высокой частоты, газопламенная обработка крупногабаритных деталей. наряду с этим даны свойства всех промышленных сталей и сплавов на основе железа, алюминия, титана, магния, меди, никеля, хрома, молибдена и других металлов. Помимо большого объема табличных справочных данных книга содержит описание конкретных технологий широкой номенклатуры машиностроительных деталей и мероприятий, направленных на получение однородной и неоднородной структуры и свойств, на уменьшение напряжений и на ослабление окисления, выгорания элементов и коробления изделий. Для инженеров-технологов. материаловедов и конструкторов машиностроительного комплекса, а также для студентов и аспирантов, специализирующихся в области современных технологий обработки металлов.

В книге рассмотрены теоретические основы процессов химической технологии, методы их расчета и описаны конструкции типовых аппаратов. Книга является учебником для химико-технологических вузов. Она может быть использована также в качестве пособия для инженерно-технических работников химической и родственных ей отраслей промышленности.

Перевод английского издания известного вводного курса теории и техники измерений, основанного на едином системном подходе к электрическим, тепловым, механическим измерениям. Учебное пособие для студентов и преподавателей естественно-научных и технических университетов, специалистов по метрологии, датчикам, приборостроению и системам управления.

В справочнике приведены виды и марки материалов, используемых в криогенной технике; рассмотрены их состав, физические и механические свойства, области применения, стоимость. Описаны методики испытаний материалов, применяемых при низких температурах, и конструкции криостатов системы охлаждения для проведения таких испытаний. Справочник предназначен для инженерно-технических работников, связанных с конструированием и эксплуатацией машин, работающих при низких температурах.

В книге рассмотрены свойства различных коммутирующих приборов, используемых в качестве управляемых вентилей в сильноточных импульсных генераторах. Приведены специфические параметры промышленных и специально разработанных вентилей. Проведено сравнение этих приборов по основных электрическим и временным параметрам, указаны области наиболее целесообразного применения. Затронут вопрос расширения возможностей вентилей за счет форсирования режима и схемных решений.Книга предназначена для разработчиков сильноточных высоковольтных импульсных устройств, применяемых в электрофизических установках, ускорителях заряженных частиц, радиолокационных станциях и проиозводственных процессах. Книга будет полезна для конструкторов мощных вентильных приборов, аспирантов и студентов соответствющих специальностей.

Рассмотрены центробежные насосы, применяемые в химических производствах. Большое внимание уделено правилам технического обслуживания и ремонта насосов. Приведены основные виды повреждений и способы устранения их. Даны методические указания и справочные данные, касающиеся выполнения ремонтных работ, освещены вопросы эксплуатации насосных установок, описаны методы диагностики технического состояния работающего оборудования. Предназначена для инженерно-технических работников, занятых монтажом, наладкой и эксплуатацией центробежных насосов.

Исследованы возможность получения наноструктурных дисперсноупрочненных композиционных материалов на основе меди и титана с применением методов интенсивной пластической деформации, их структура, физические и механические свойства.

В книге рассмотрены фундаментальные проблемы теории физико-механических процессов и процессов управления, составляющих основу технологий обеспечения качества продукции машиностроения. В числе рассмотренных базовые стохастические модели теории точности. проблемы трибологии и процессов изнашивания, ключевая проблематика теории измерений, теории надежности машин, работотехники, управляющих процессов и проблематика. относящаяся к созданию перспективных технологий. Для научных сотрудников академических и отраслевых НИИ, специалистов промышленных предприятий, преподавателей, аспирантов и студентов технических университетов.

Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии — реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

В предлагаемой читателю книге известных авторов: профессора Карал К. Коча (США), доктора физико-математических наук Ильи Овидько (Россия), профессора Судипты Сила (СШЩА) и профессора Стэна Вепрека (ФРГ) на теоретическом и прикладном уровнях излагаются фундаментальные основы нанотехнологических процессов и структурных состояний объемных наноматериалов, нанокомпозитов и покрытий. В книге рассматриваются области применения массивных наноматериалов в несущих конструкциях, анализируется стабильность нанокристаллических микроструктур и описываются методы, используемые для изучения их строения. Исследованы закономерности и особенности изменения механических и функциональных свойств наноматериалов и возможных областях применения. Представляются теоретические модели структур нанокристаллических материалов и обсуждаются механизмы их поведения при различных видах нагружения. Книга, содержащая новейшие сведения о свойствах наноматериалов, проблемах и х освоения и перспективах решения, несомненно, полезна студентам, аспирантам, ученым и инженерам, занимающихся разработкой и использованием наноматериалов в различных областях техники.

Приведены сведения о физических свойствах жидкостей, используемых в системах теплогазоснабжения и вентиляции. Даны классификация нагнетателей и их принципиальные схемы. Показана область использования нагнетателей разного типа. Особое внимание уделено работе нагнетателей в системах вентиляции и теплоснабжения. Рассмотрены вопросы, связанные с охраной труда при монтаже и эксплуатации нагнетателей, а также мероприятия по снижению шума и вибрации. Для студентов вузов, обучающихся по специальности "Теплогазоснабжение и вентиляция".

В сборнике публикуются обзоры по адаптивным системам, прицелам для БТТ, стендам для испытаний аэрокосмической техники, радиофотолюминесцирующим дозиметрическим стеклам, а также по технологии изготовления некоторых волоконных световодов.