| 1 |
|
Зарубежная военная техника [Текст ] : обзоры / Центральный научно-исследовательский институт информации и технико-экономических исследований (М.). — Москва; : ЦНИИ информации , Б.г.
Вып. 1 (93) : Приемники и преобразователи оптического излучения. Технология нанесения полупроводниковых и металлических пленок методами лазерного распыления в вакууме и осаждения из газообразной и жидкой фазы / П. А. Быков. — Москва: ЦНИИ информации, 1989. — 49 с.: граф. — Для служебного пользования. — Библиогр.: с. 45-49.
Обзор содержит некоторые результаты, касающиеся наращивания тонких металлических пленок, эпитаксиальных слоев, сверхрешеток, сверхпроводящих пленок и др., полученных методами лазерного осаждения из жидкой и газообразной фазы, а также путем распыления в вакууме. Главное внимание уделяется работам ведущих зарубежных фирм и лабораторий. Параметры полученных слоев свидетельствуют о больших возможностях лазерной технологии в изготовлении структур для фотоприемников от видимого до ИК диапазона, а также для корректировки топологии фотошаблонов.
|
| 2 |
|
Discharges and Electrical Insulation in Vacuum: Proceedings. — : IEEE, 2004. — 301-685 p.: il. — Библиогр. в конце ст. — Author Index: p. 682-685. — ISBN 0-7803-8461-X.
|
| 3 |
|
Импульсный магнетронный разряд с горячей мишенью: автореферат... канд. физ.-мат. наук : 1.3.9 / А. В. Тумаркин ; науч. рук. А. В. Казиев, офиц. оппоненты : В. П. Кривобоков, Л. Н. Лесневский, В. А. Лузанов; Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (М.), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск), Московский авиационный институт (М.), Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязинский филиал. — М., 2022. — 26 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 23-25.
|
| 4 |
|
Магнетронные распылительные системы / А. И. Кузьмичёв. — Киев; : Аверс , Б.г.
Кн. 1 : Введение в физику и технику магнетронного распыления. — , 2008. — 244 с.: ил. — Библиогр.: с. 215-244. — ISBN 966-8934-07-5.
Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких плёнок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы. Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений, специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных технологий для электроники, оптики и машиностроения.
|
| 5 |
|
Нанесение пленок в вакууме: учеб. пособие для проф.-техн. училищ / В. Е. Минайчев ; рецензенты : Ю. С. Чернозубов, И. А. Малышева. — М.: Высшая школа, 1989. — 112 с.: ил. — (Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники). — Библиогр.: с. 108. — ISBN 5-06-000308-6.
В книге рассмотрены особенности применения и методы нанесения тонких пленок при производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Описаны принципы действия современных технологических вакуумных установок с термическими испарительными и ионными распылительными системами. Приведены сведения по их эксплуатации, вакуумной технике, электронно-вакуумной гигиене и технике безопасности.
|
| 6 |
|
Физика тонких пленок. — М.; : Мир , Б.г.
Т. V : Cовременное состояние исследований и технические применения / под общ. ред. Г. Хасса, Р. Э. Туна , пер. с англ. В. Б. Сандомирского, А. Г. Ждана. — , 1972. — 344 с.: ил. — Библиогр. в конце ст. — 1.70 р.
|
| 7 |
|
International Conference on Coatings on Glass (ICCG): High-Performance Coatings for Transparent Systems in Large-Area and/or High-Applications : Proceedings. — Amsterdam: Elsevier, 1998. — 466 с.: ill. — Bibliogr. at the end of the art. — Auth., subject ind.: p.458-466. — ISBN 0-444-50247-5: 4171.00 р.
|
| 8 |
|
Физика тонких пленок. — М.; : Мир , Б.г.
Т. VI : Cовременное состояние исследований и технические применения / под общ. ред. М. Х. Франкомба, Р. У. Гофмана, пер. с англ. В. Б. Сандомирского, А. Г. Ждана. — , 1973. — 392 с.: ил. — Библиогр. в конце ст. — Авт. указ.: с. 389. — 2.12 р.
|
| 9 |
|
Пучки ионов и атомов для управляемого термоядерного синтеза и технологических целей: монография / М. Д. Габович, Н. В. Плешивцев, Н. Н. Семашко. — М.: Энергоатомиздат, 1986. — 249 с.: ил. — Библиогр.: с. 228-244. — Предм. указ.: с. 245-247. — 2.70 р.
|
| 10 |
|
Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings : Science, Applications and Technology: сборник / ed. P. M. MartinD. — 3rd ed. — Amsterdam; Boston; Heideilberg: Elsevier, 2005. — XVIII,912 p.: il.; 24 cm. — Bibliogr. at the end of the chapters. — ISBN 978-0-8155-2031-3: 5762.00 р. |