Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов. специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов "Физические основы наноэлектроники", "Наноэлектронные технологии", "Физика микроэлектронных структур".

Книга посвящена магнитным масс-спектрометрам. Особое внимание уделено приборам, использующим сильно диспергирующее неоднородное аксиально симметричное магнитное поле. Показаны особенности этого поля, представляющие интерес для дальнейшего повышения светосилы и разрешающей способности масс-анализаторов. В книге кратко изложена теория ионнооптических систем, приводятся расчетные формулы основных параметров, описываются блок-схема и конструктивные особенности масс-спектрометра и его отдельных частей. Кроме того, приводятся методические основы изотопного и газового анализа веществ, а также некоторые практические данные: характеристики современных масс-спектрометров, основные формулы для расчета вакуумных систем, таблицы точного значения атомных весов стабильных изотопов, физические свойства некоторых газов и паров, альбом масс-спектрограмм, полученных на различных приборах и др..