| 301 |
|
Алгоритмы технического диагностирования дискретных устройств: монография / В. Г. Тоценко. — М.: Радио и связь, 1985. — 238 с.: ил. — Библиогр.: с. 228-235. — 0.65 р.
|
| 302 |
|
Субмикронные технологии: сборник научных трудов / Рос. АН, Физико-технологический институт; отв. ред. тома В. Н. Репин. — М.: Наука, 1995. — 79 с.: ил. — (Труды Физико-технологического института РАН / гл. ред. К. А. Валиев, 0868-7129). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-02-000831-1: 4600.00 р. |
| 303 |
|
Введение в теорию и расчет активных фильтров: переводное издание / Л. П. Хьюлсман, Ф. Е. Аллен ; пер. с англ. Н. Н. Слепова, под ред. А. Е. Знаменского. — М.: Радио и связь, 1984. — 382 с.: ил. — Библиогр.: с. 373-380. — 2.20 р.
|
| 304 |
|
Язык радиосхем: монография / В. В. Фролов. — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Радио и связь, 1988. — 129 с.: ил. — (Массовая радиобиблиотека). — ISBN 5-256-00086-1: 0.75 р.
|
| 305 |
|
Радиотехнические игры и игрушки: монография / В. В. Фролов. — М.: Энергия, 1979. — 71 с.: ил. — (Массовая радиобиблиотека). — Библиогр.: с. 70. — 0.65 р.
|
| 306 |
|
Сеточно-химическая технология изготовления печатных плат: монография / А. А. Федулова, Е. П. Котов, Э. Р. Явич ; под ред. Е. П. Котова. — М.: Радио и связь, 1985. — 56 с.: ил. — (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры). — Библиогр.: с. 56. — 0.20 р.
|
| 307 |
|
Широкополосные радиопередающие устройства (Радиочастотные тракты на полупроводниковых приборах): монография / О. В. Алексеев [и др.] ; под ред. О. В. Алексеева. — М.: Связь, 1978. — 302 с.: ил. — Библиогр.: с. 293-299. — 1.30 р. |
| 308 |
|
Основы теории электромагнитного экранирования: монография / Д. Н. Шапиро. — Л.: Энергия. Ленинградское отделение, 1975. — 112 с.: ил. — (Библиотека по радиоэлектронике). — 0.33 р.
|
| 309 |
|
Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники: монография / Е. К. Чехович; АН БССР, Институт электроники. — Минск: Наука и техника, 1989. — 213 с.: ил. — Библиогр.: с. 200-211. — ISBN 5-343-00087-8: 1.70 р.
|
| 310 |
|
Плазмохимические процессы и оборудование: учеб. пособие / С. Е. Александров, А. А. Уваров; С.-Петерб. гос. политехн. ун-т. — СПб.: Издательство Политехнического университета, 2012. — 391 с.: ил.; 20 см. — (Вакуумная техника). — Библиогр.: с. 386-390. — ISBN 978-5-7422-3668-9: 550.00 р.
Данное учебное пособие предназначено для сотрудников предприятий, занятых разработкой и изготовлением плазмохимического оборудования для повышения их квалификации путем приобретения компетенций в области плазмохимических технологий травления и осаждения материалов электронной и микросистемной техники. Пособие может быть полезно студентам старших курсов, обучаемых в рамках направлений «Наноматериалы» и «Материаловедение и технология материалов» по профилям, относящимся к технологии изделий микроэлектроники и микросистемной техники. В настоящем учебном пособии обсуждаются принципы построения плазмохимического оборудования, основанного на использовании низкотемпературной плазмы, создаваемой с помощью газовых разрядов при пониженных давлениях, основы процессов травления микроэлектронных структур, закономерности процессов плазмохимического травления и примеры их использования для травления разнообразных материалов, а также плазмохимические процессы осаждения слоев на примере нитрида кремния, как одних из наиболее сложных и трудных для практической реализации.
|