Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии — реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Дж. Бекефи - крупнейший специалист по физике плазмы. В своей книге "Радиационные процессы в плазме" он, в отличие от других авторов, умело сочетал изложение теоретических вопросов с богатейшим экспериментальным материалом, полученным многочисленными исследователями при изучении процессов излучения, поглощения и рассеяния электромагнитных волн плазмой.Книга предназначена для физиков и инженеров, работающих в области теории физики плазмы и ее практических применений, а также для аспирантов и студентов университетов и физико-технических вузов.

Дано представление как о регулярных явлениях (нелинейные волны в слабодиспергирующих средах, нелинейное затухание Ландау, эхо в плазме, взаимодействие волн и т. п.), так и о турбулентности плазмы, т. е. о нерегулярных колебаниях с возбуждением очень многих степеней свободы. Рассмотрение проведено, по возможности, в доступной форме с привлечение примеров из других областей физики. Новое издание дополнено изложением результатов последних лет.Для физиков - экспериментаторов и теоретиков, а также аспирантов и студентов, интересующихся физикой плазмы.

В книге рассмотрены процессы столкновения атомных частиц. Основное внимание уделено резонансным процессам, которые протекают с большими сечениями и играют наибольшую роль в явлениях, совершающихся в газе и плазме. Книга состоит из двух частей. Первая часть посвящена исследованию потенциалов взаимодействия атомных частиц при больших расстояниях между ними. Во второй части потенциалы взаимодействия используются для нахождения сечений резонансных процессов и изучения механизмов рассматриваемых переходов. Изложение этих проблем проводится с единой точки зрения с помощью асимптотического метода, который по своим возможностям для данного круга задач значительно превосходит другие теоретические методы. Наряду с теорией в книге детально представлены результаты экспериментального исследования рассматриваемых проблем. Кроме того, в ней описаны задачи разных областей физики, техники, где данные процессы проявляются или находят практическое применение.

Нитрованием бис(3,5-диметилпиразол-1-ил)метана с выходом 82 %. При действии стехиометрического количества перманганата калия в нейтральной среде на бис(3,5-диметилпиразол-1-ил)метана окислению преимущественно подвергаются метильные группы в положениях 5 пиразольных циклов. Применение избытка окислителя дает бис(пиразол-1-ил)метана-3,3',5,5'-тетракарбоновую кислоту. На основании неэмпирических квантовохимических расчетов в базисе 6-311G** дано объяснение преимущественной атаки окислителя на метильные группы в положении 5.

Освещены способы литья: под высоким и низким давлением. центробежное, кокильное, оболочковое, по выплавляемым моделям, непрерывное, электрошлаковое, композиционных отливок и др. Приведены сведения о материалах, литейной оснастке, оборудовании, технологии, области применения и перспективах развития этих способов. Рассмотрены гидродинамические, теплофизические кристаллизационные процессы и влияние на них внешних воздействий. Для инженерно-технических работников литейного производства; может быть полезен студентам втузов.

В книге рассмотрены фундаментальные проблемы теории физико-механических процессов и процессов управления, составляющих основу технологий обеспечения качества продукции машиностроения. В числе рассмотренных базовые стохастические модели теории точности. проблемы трибологии и процессов изнашивания, ключевая проблематика теории измерений, теории надежности машин, работотехники, управляющих процессов и проблематика. относящаяся к созданию перспективных технологий. Для научных сотрудников академических и отраслевых НИИ, специалистов промышленных предприятий, преподавателей, аспирантов и студентов технических университетов.

Книга предназначена для первоначального ознакомления с теорией случайных процессов. Подчеркивается связь этой теории с фактами функционального анализа. Книга рассчитана на студентов-математиков, аспирантов, а также других читателей, интересующихся теорией случайных процессов, знакомых с элементами теории меры и функционального анализа и изучавших теорию вероятностей.Основное внимание уделяется не выкладкам и не доказательству теорем в окончательной форме, а объяснению сути применяемых методов на простом, по возможности, материале. В ходе изложения дается около 250 задач различной трудности и характера (упражнения, примеры, самостоятельное получение более простых результатов, части доказательств, обобщения и т. п.); примерно для двух третей из них приведены решения.В главах 1-3, 5-7, 12 предмет рассмотрения составляют с овновном общие методы теории; в главе 4 рассматриваются стационарные процессы, в главах 8-11, 13 - марковские (в том числе применение теории полугрупп операторов, диффузионные процессы и их связь с дифференциальными уравнениями).