Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии — реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

В монографии описаны методы решения задач дифракции электромагнитных волн на незамкнутых конических структурах, разработанные на основе теоретических исследований, математического моделирования и анализа формирования электромагнитных полей объектами с характерными угловыми параметрами и геометрическими сингулярностями (вершинами, ребрами). Предложен математический аппарат для решения нестационарной задачи дифракции электромагнитных волн на сложной конической поверхности с продольными щелями без априорных ограничений на геометрические размеры структуры. В результате апробации моделей получена достоверная информация об особенностях, закономерностях и физической природе эффектов, которые появляются при дифракции электромагнитных волн на сложных незамкнутых конических поверхностях. Для научных работников, инженеров, аспирантов и студентов старших курсов, занимающихся задачами дифракции электромагнитных волн на незамкнутых конических структурах.

В книге изучается дифракция акустических и электромагнитных волн на телах, больших по сравнению с длиной волны. Развитая в ней асимптотическая теория может быть полезна при решении разнообразных дифракционных задач, возникающих, например, в таких областях техники, как проектирование микроволновых антенн, конструирование акустических барьеров для снижения уровня шумов, мобильная и спутниковая радиосвязь, стелс-технология по созданию объектов, невидимых для радаров и сонаров. Для научных сотрудников, преподавателей вузов, аспирантов и студентов старших курсов, изучающих дифракционные явления в таких дисциплинах, как акустика, оптика, радиофизика, математическая физика и т. д.

В работе параметры микролокализации пластической деформации сопоставлены с параметрами соотношения Холла-Петча для напряжения течения в образцах из поликристаллического алюминия. Установлено существование в исследованном диапазоне размеров зерен двух ветвей зависимости длины автоволны локализованной деформации от размера зерна и двух вариантов упрочнения по Холлу-Петчу. Изучено соответствие картин локализации пластического течения с графиками уравнения Холла-Петча.

Монография посвящена исследованию структуры и свойств основных классов полимерных материалов: собственно полимеров. полимерных композитов. наполненных дискретным наполнителе (дисперсными частицами или волокнами), и полимерных нанокомпозитов, описание структуры и свойств указанных материалов дано в рамках фрактального (мультифрактального) анализа с привлечением ряда других современных физических концепций: кластерной модели структуры аморфного состояния полимеров. синергетики твердого тела. моделей необратимой агрегации и теории перколяции. Это позволило получить количественные соотношения структура-свойства для всех указанных классов полимерных материалов. Монография предназначена для специалистов, занимающихся получением, обработкой и исследованием структуры и свойств полимерных материалов, а также для преподавателей.. аспирантов и студентов вузов физико-химического профиля.

В монографии обобщены и систематизированы результаты исследований по модифицированию добавками и высокоэнергетическим воздействием керамических материалов с перовскитовой и шпинелевой структурой кристаллических фаз - конденсаторной, пьезоэлектрической, ферритовой и сверхпроводящей керамики. рассматриваются возможности проноза действия модифицирующих добавок на спекание, структуру и свойства данных видов керамики и результаты улучшения этих свойств под действием добавок. Приведена информация о составах и свойствах отечественной и зарубежной функциональной керамики. Монография предназначена для специалистов-материаловедов в области технической керамики, а также студентов вузов соответствующего профиля.

Изложены основы строения материалов и формирования их структуры в процессах кристаллизации и пластической деформации, методы механических испытаний. Значительное внимание уделено анализу структурообразования в сплавах. Приведены особенности композиционного упрочнения сплавов. Приведены особенности композиционного упрочнения сплавов. Рассмотрены вопросы рационального выбора конструкционных сталей и обеспечения их необходимых свойств. Представлены структурная классификация чугунов и сведения по их новым видам. Отражены особенности строения, свойств, способов получения и применения наноструктурных материалов. для студентов вузов.

Исследованы механизмы пластической деформации на мезомасштабном уровне плоских образцов поликристаллов алюминия с использованием оптико-телевизионной системы высокого разрешения TOMSC-1. Показано, что в деформируемом образце формируется многоуровневая мезополосовая структура, приводящая к возникновению двух типов стационарных волн длиной 120 мкм и 4,8 мкм. Результаты интерпретируются в рамках иерархии мезомасштабных уровней деформации и связываются с определяющей ролью поверхностной окисной пленки в возникновении мезополосовой структуры и стационарных волн пластического течения.

Рассмотрены особенности локализации деформации в поликристаллическом алюминии. Показана универсальность этого явления для всех стадий процесса деформирования. Каждой из наблюдаемых стадий процесса течения соответствуют специфические распределения очагов локализованной пластичности. Установлена форма связи длины волны локализации и размера зерна. Исследованы акустические характеристики деформируемого алюминия и сплава Д16 и определена связь скорости распространения ультразвука и картин локализации деформации. Обоснована применимость ультразвуковых измерений для анализа кинетики развития пластического течения и оценки механических свойств.

Приведены результаты исследований физико-математических и триботехнических свойств композиционных микро- и макрогетерогенных материалов матрично-наполненного типа, содержащих в качестве твердой фазы карбид титана. Показано, что создание многоуровневой демпфирующей структуры позволяет регулировать процесс изнашивания материала, заданием наиболее выгодного для данных условий трения структурного уровня деформирования поверхностного слоя.

Исследованы процессы формирования структуры псевдосплава Cu-(20-40 масс.%)Cr при электронно-лучевой наплавке (ЭЛН). Для наплавки использовали смесь порошков меди и хрома. В процессе наплавки происходит диспергирование частиц хрома, обеспечивающее формирование мелкозернистой и равномерной структуры. В результате перегрева ванны в зоне действия электронного луча происходит растворение хрома в медной матрице с последующим формированием бимодальной структуры при старении наплавленного слоя.

На основе дискретного моделирования исследованы особенности деформирования и разрушения материалов с большой долей границ раздела ("interfacial materials") при воздействии сложных знакопеременных нагрузок. анализировалось влияние частоты циклического воздействия на характер разрушения образцов, их деформируемость, способность диссипировать закачиваемую энергию, а также на распределение деформаций деформаций в объеме материала. Показано, что высокочастотные вибрационные воздействия с частотами, значительно превосходящими собственные, могут значительно повышать деформационную способность материалов с большой долей границ раздела.

Представлено современное состояние динамической теории химических реакций. Приведены результаты по получению некоторых соединений в электрическом разряде. Рассмотрены типы плазмохимических реакторов - плазменная центрифуга и плазматрон с электронным пучком. Исследована диффузия возбужденных атомов в газе, двухступенчатая фотоионизация атомов и неустойчивости в газовом разряде. Рассмотрены химические процессы в шаровой молнии.Сборник предназначен для научных работников и инженеров, специализирующихся в области физики и химии низкотемпературной плазмы, а также для студентов старших курсов физико-технических и химических специальностей.

Приводятся результаты теоретических и экспериментальных исследований, связанных с построением определяющих уравнений и решением краевых задач механики композиционных материалов и конструкций. Изучается влияние структурных характеристик материалов на макроскопические деформационные и прочностные свойства. Значительное место отводится описанию процессов накопления микроповреждений в композитах на полимерной и металлической основе при статических и циклических нагрузках. при расчете полей деформирования в неоднородных материалах широко применяются вариационно-разностные методы и методы теории случайных функций. Теоретические разработки, доведенные до численных результатов, могут использоваться в инженерной практике. Сборник предназначается для научных, инженерно-технических работников и аспирантов, занимающихся исследованиями по механике композиционных материалов и конструкций.

В книге описаны методы регистрации спектров поглощения паров металлов в вакуумном ультрафиолете. Рассмотрены качественные отличия ВУФ спектров поглощения (бойтлеровских спектров) от оптических и рентгеновских спектров. В виде таблиц и графиков собраны результаты экспериментальных измерений атомных констант (длин вон линий поглощения, сил осцилляторов линий, энергий термов и параметров взаимодействия конфигураций) для металлов I-V групп, переходных металлов и лантаноидов. Показана перспективность использования особенностей бойтлеровских спектров в науке и технике.

В сборнике освещены вопросы совершенствования методов и аппаратуры для микроструктурного исследования процессов деформации и разрушения металлических материалов. Приведены результаты изучения корреляционных зависимостей между структурным состоянием и механическим поведением промышленных сталей и сплавов некоторых тугоплавких материалов. Рассчитано на исследователей и практиков металловедов, металлофизиков, металлургов, конструкторов, машиностроителей.

Сборник содержит оригинальные статьи по математическим моделям и численному анализу алгоритмов, решение конкретных задач теории упругости и пластичности. работ были доложены на VII Всесоюзной конференции по численным методам решения задач теории упругости и пластичности, которая состоялась в г. Миассе, 1-3 июля 1981 г.

На основе обзора работ авторов с сотрудниками сформулированы концептуальные положения физической мезомеханики наноструктурных материалов. Низкая пластичность наноматериалов обусловлена подавлением в них дислокационной деформации на микромасштабном уровне и развитием полос локализованной деформации на мезо- и макромасштабном уровнях. При оптимальном сочетании деформации на микро- и мезоуровнях создание нанокристаллической структуры обеспечивает высокие характеристики как прочности, так и пластичности материала. макролокализация деформации всегда снижает прочность и пластичность наноматериалов.

Монография посвящена последовательном изложению квантовой теории молекулярных систем, а также решению волновых уравнений в нерелятивистской и релятивистской квантовой механике молекул. Многие затрагиваемые в книге вопросы рассматриваются на основе оригинальных исследований автора. Подробно исследуются простейшие квантово-механические системы - атом водорода и катион молекулы водорода. Большое внимание уделяется симметрии фазового пространства указанных систем и дополнительными интегралам движения Лапласа-Рунге-Ленца. Дано решение проблемы движения одного электрона в кулоновском поле многих неподвижных ядер, которая сводится к исследованию интегрального волнового уравнения Шредингера и Дирака, и показано, что точная волновая функция (биспинор) представляется в виде линейной комбинации атомных орбиталей (бипиноров). Исследованы решения уравнения Шредингера с многоцентровым потенциалом Юкавы. Изложена матричная теория многоэлектронных конфигураций атомов и молекул для решения нерелятивистских и релятивистских многочастичных волновых уравнений. Значительное место в книге занимает теория многоцентровых матричных элементов квантовой химии в базисе электронных функций с экспоненциальным убыванием на бесконечном радиусе. Отдельная глава посвящена теории возмущений в квантовой механике; подробно исследуется случай наличия линейно оболочки вырожденных состояний в невозмущенном спектре. Книга рассчитана на специалистов в области математической физики квантовой теории молекул, математиков, физиков-теоретиков и химиков, интересующихся проблемами вычисления квантовых состояний и физико-химических свойств сложных атомно-молекулярных систем; а также будет полезна аспирантам и студентам старших курсов физических и химических факультетов вузов.

На базе представлений физической мезомеханики исследована связь эффектов электрической поляризации при сжатии монокристаллов LiF с масштабными уровнями локализации пластического течения. Существует четкая корреляция между скоростью изменения электрических сигналов и стадиями развития локализованных сдвигов в объеме монокристалла. Масштабные уровни локализации пластической деформации ионного кристалла при сжатии качественно подобны таковым при растяжении металлических материалов. Обсуждается возможность использования выявленного эффекта для предсказания землетрясений.

Исследованы закономерности локализации пластической деформации при растяжении образцов субмикрокристаллического армко-железа, имеющих полосовую фрагментированную субструктуру. Установлено, что пластическое течение субмикрокристаллического армко-железа в условиях полосовой фрагментированной субструктуры оказывается локализованным вблизи галтельных переходов у головок образцов и реализуется путем распространения мезо- и микрополос пластической деформации. Кривые течения характеризуются короткой стадией сильного деформационного упрочнения и последующим протяженным участком падения деформирующего напряжения. Снижение дефрмирующего напряжения обусловлено распространением макрополос. Показано, что пока сохраняется полосовая фрагментированная структура, имеют место сильная локализация деформации и низкая пластичность субмикрокристаллических материалов. при разрушении полосовой фрагментированной структуры в процессе термического отжига в пластическое течение вовлекается весь объем материала, а кривая "напряжение - деформация" приобретает нормальный вид.

На основе анализа системного подхода к описанию сложных иерархических объектов в биологии предлагается аналогичный системный подход в физической мезомеханике деформируемого твердого тела.

Обобщены результаты электронно-микроскопического исследования высокодефектных структурных состояний и закономерностей их формирования в наноструктурных материалах (Cu, Ni, Ni3Al, аустенитные стали), полученных в различных условиях интенсивной пластической деформации: кручение в наковальнях Бриджмена, равноканальное угловое прессование, большие деформации прокаткой при комнатной температуре. Проанализированы поля локальных внутренних напряжений в этих состояниях. предложена модель дефектной субструктуры объема и неравновесных границ зерен наноструктурных материалов. Проведено обсуждение наиболее важных механизмов деформации и переориентации кристаллической решетки в процессе формирования наноструктурных материалов и их последующей пластической деформации.

В работе исследуются процессы деформации и разрушения материала с покрытием при динамическом воздействии на поверхность. Краевая задача механики решается численно методом конечных разностей в постановке плоской деформации. Для описания механической реакции стальной основы и боридного покрытия используются модели упругопластической среды с изотропным упрочнением и упругохрупкого разрушения соответственно. Геометрия границы раздела "покрытие - подложка" соответствует экспериментально наблюдаемой и учитывается в расчетах явно. проведены численные эксперименты для различных скоростей воздействия на поверхность. Показано, что характер разрушения покрытия существенно зависит от скорости деформирования. При низких скоростях динамического сжатия трещины зарождаются только в областях объемного растяжения и распространяются в направлении приложения нагрузки, а при высоких скоростях воздействия разрушение происходит по смешанному механизму и развивается преимущественно в направлении действия максимальных касательных напряжений.

С использованием межатомного потенциала взаимодействия, полученного в приближении сильной связи, рассчитаны энергии связи и колебательные частоты свободных малых кластеров кобальта до двадцати атомов включительно. Показана определяющая роль минимальной частоты колебаний кластера в оценке его динамической устойчивости. На основании анализа энергетических параметров и колебаний кластера показано, что для Co стабильными являются кластеры с числом атомов n= 4,6,13 и 19.

Методом трансмиссионной электронной микроскопии исследована субмикрокристаллическая структура Мо, полученная в результате интенсивной пластической деформации кручением на 5 оборотов при 400 градусах Цельсия под давлением 6 ГПа, и ее термическая стабильность. Методом эмиссионной мессбауэровской спектроскопии исследовано состояние границ зерен субмикрокристаллического Мо после отжига в интервале температур 350-800 гр.Цельсия.

Показано, что в поверхностных слоях поликристаллов титана, алюминия, свинца и сплавов на его основе при знакопеременном изгибе формируется многоуровневая мезосубструктура, которая определяет зарождение поверхностных усталостных трещин. Характер мезосубструктуры и размеры ее структурных элементов определяются сдвиговой устойчивостью внутренней структуры поверхностного слоя и упругими характеристиками материала основы. Обсуждение проводится на основе теории волн локализованной неупругой деформации В. Е. Егорушкина.

На основе уравнений линейной механики разрушения построены векторные поля упругих смещений перед вершиной трещины моды I, II и смешанной моды (I+ II). Предложен алгоритм выделения базовых мод I и II при смешанном характере развития усталостной трещины как для упругих, так и для необратимых смещений. Применение такого подхода рассмотрено на мезоуровне на примере векторного поля неупругих смещений, экспериментально измеренных оптико-телевизионным методом в условиях циклического растяжения поликристаллов.

Проведен обзор работ последних двух десятилетий на стыке физики и механики деформируемого твердого тела, которые привели к созданию нового научного направления — физической мезомеханики материалов. Ее синергетическая методология качественно отлична от общепринятых подходов континуальной механики (феноменологическое описание на макроуровне) и микроскопического описания теории дислокаций. Деформируемое твердое тело рассматривается как многоуровневая система, в которой пластическое течение происходит в результате потери сдвиговой устойчивости материала в полях градиентов напряжений на различных структурных уровнях. Деформация по схеме «сдвиг + поворот» обусловливает возникновение в материале иерархии мезомасштабов фрагментированных субструктур, в которой разориентированная субструктура является масштабным инвариантом. Это позволяет построить многоуровневую модель деформируемого твердого тела на базе мезомасштабных структурных уровней, учитывая дислокационную деформацию в рамках теории калибровочных полей. В полевых уравнениях физической мезомеханики помимо параметров механического состояния введены параметры структурного состояния, учитывающие возникновение в исходном материале разориентированных субструктур. Обсуждаются актуальные проблемы и прикладные задачи физической мезомеханики материалов.??.