Терминологический словарь содержит следующие разделы: основные понятия, основные физические, химические и биологические явления и понятия в нанотехнологиях, объекты нанотехнологий, основные процессы и методы в нанотехнологиях, методы и средства исследования нанообъектов, метрология, стандартизация и сертификация, информатика, электроника, квантовые компьютеры. Имеются указатели терминов на русском и английском языках, приведен список международных, региональных и зарубежных национальных организаций в области стандартизации и сертификации, список распространенных англоязычных сокращений. Словарь предназначен для научных работников, инженеров, аспирантов, студентов, специализирующихся в различных областях нанотехнологий, их метрологического обеспечения и стандартизации.

Комплекс словарей является первым опытом подобного рода терминологических словарей, поскольку, помимо традиционного перевода на русский язык, он содержит толкование терминов и терминологических словосочетаний. Кроме того, в комплексе впервые приводятся данные по частотному распространению терминов в текстах научных статей и монографий.