Распределение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при термической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздействие различных излучений, полей и др. Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем устанавливается путем рассмотрения проблем межфазного взаимодействия в неравновесных микрогетерогенных системах, совместимости контактирующих материалов, анализа критериев, позволяющих прогнозировать физико-химический характер взаимодействия с использованием диаграмм фазовых равновесий. Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических микроэлектронных устройств, аспирантов и специалистов.

Монография посвящена исследованию электрических и эмиссионных свойств чистых металлов и двойных сплавов в зависимости от физико-химического взаимодействия компонентов, температуры, давления и структурных дефектов. Рассмотрена анизотропия электросопротивления, работы выхода и коэффициента вторичной электронной эмиссии монокристаллов и сплавов. Приведены корреляции эмиссионных свойств с другими физическими свойствами и расчет электросопротивления сплавов. Рассмотрены вопросы создания новых сплавов с заданными электрическими и эмиссионными свойствами. Монография предназначена для металлургов, металловедов, физико-химиков, специалистов в области электроники и приборостроения, на также может быть использована в качестве учебного пособия преподавателями и студентами технических вузов.

Настоящий справочник содержит данные по диаграммам плавкости 700 двойных систем типа АХ-ВХ из безводных неорганических солей, включающих катионы от калия до циркония. Материал по исследованию данных систем был опубликован в отечественной и зарубежной литературе за период 1956-1974 гг. Предназначен для широкого круга инженеров-технологов и научных работников металлургической, химической и других отраслей промышленности - химиков-неоргаников, физико-химиков, минерологов, петрографов.

Справочник содержит богатый фактический материал по самым различным вопросам пробоотбора, с которыми сталкиваются аналитики в металлургии и других отраслях промышленности. Проблемы пробоотбора и статистической обработки результатов анализов освещены с современных позиций. Даны рекомендации по отбору проб руд, концентратов, твердых и жидких металлов. Рассмотрено оборудование для пробоотбора. Предназначена для инженерно-технических работников, занимающихся анализом материалов в металлургии и других отраслях промышленности.

В монографии впервые обобщены результаты исследований по распределению наноразмерных частиц в двухфазных системах. Приводятся достаточно подробные описания методик экспериментальных исследований. Это позволит в будущем исследователям этих процессов корректнее проводить эксперименты и получать достоверные данные. Теоретические модели и результаты расчетов, приведенные в монографии, фиксируют возможные подходы к описанию процессов распределения наночастиц в двухфазных системах. Эти исследования станут «центром кристаллизации» и будут развиваться далее за счет формулировки более точных теоретических моделей и подходов. Изучение поведения наноразмерных частиц в двухфазных системах позволит сформулировать новые теоретические подходы к описанию перехода систем частиц от молекулярных к надмолекулярным размерам и дать новые подходы для формулирования принципа перехода количества в качество в теории растворов и фазовых переходов. Для химиков-технологов откроются новые особенности технологических процессов как в нанотехнологиях, так и в традиционных технологиях, но с учетом наноразмерных частиц в составе реакционных смесей и фаз. В монографии представлен новый метод разделения -термодистилляция. Показаны его возможности в ряде практических задач. Монография будет полезна для специалистов разного профиля, работающих в области физической химии и химической технологии, в том числе над реализацией нанотехнологий в различных областях науки и техники, а также студентам вузов при изучении курса «Нанотехнологий», «Нанотехнологий в наноэлектронике и оптике», «Микро- и наноэлектроника».