Дается обзор экспериментальных работ и теоретических разработок по диагностике характеристик и параметров низкотемпературной плазмы горения веществ. Эти исследования и разработки выполнены, в основном, при участии и под руководством профессора И. А. Тихомирова в Томском политехническом университете. Приводятся схемы экспериментальных установок и результаты, полученные при теоретических и экспериментальных исследованиях. Для научных работников в области диагностики низкотемпературной и может быть полезна для аспирантов и студентов старших курсов, интересующихся физикой плазмы.

В книге даны основные представления о физике вакуума; рассмотрены процессы переноса при низких давлениях, сорбционные процессы, течение газов по трубопроводам; обсуждены принципы действия основных типов вакуумных насосов, их характеристики и возможности непользования в различных системах откачки; описаны способы измерения вакуума, анализ парциальных давлений, течеискание; приведены типовые схемы вакуумных машин и установок, дан общий порядок расчета и проектирования вакуумных систем.Предназначается для студентов специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение".