| 1 |
|
Нанесение прозрачных проводящих покрытий на основе оксида цинка методом магнетронного распыления: дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / С. В. Работкин ; науч. рук. Н. С. Сочугов; Институт сильноточной электроники СО РАН. — Томск, 2009. — 146 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 138-146.
|
| 2 |
|
Нанесение прозрачных проводящих покрытий на основе оксида цинка методом магнетронного распыления: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / С. В. Работкин ; науч. рук. Н. С. Сочугов, офиц. оппоненты: Е. М. Окс, С. Н. Янин; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск), Институт электрофизики УрО РАН (Екатеринбург). — Томск, 2009. — 22 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 21-22.
|
| 3 |
|
Ионно-плазменное оборудование и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади: дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.02 / Н. С. Сочугов ; науч. конс. Н. Н. Коваль; Институт сильноточной электроники СО РАН. — Томск, 2012. — 405 с.: ил. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 379-405.
|
| 4 |
|
Устройства со скрещенными электрическим и магнитным полями для нанесения тонкопленочных покрытий на подложки большой площади: дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / А. А. Соловьев ; науч. рук. Н. С. Сочугов; Институт сильноточной электроники СО РАН. — Томск, 2007. — 210 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 196-210.
|
| 5 |
|
Магнетронные распылительные системы и технологии нанесения энергосберегающих покрытий на архитектурные стекла и полимерные пленки: дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / А. Н. Захаров; Рос. АН, Сиб. отд-ние, Ин-т сильноточ. электроники. — Томск, 2011. — 158 с.: ил. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 145-154.
|
| 6 |
|
Магнетронные распылительные системы и технологии нанесения энергосберегающих покрытий на архитектурные стекла и полимерные пленки: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / А. Н. Захаров; Ин-т сильноточ. электроники СО РАН. — Томск, 2011. — 22 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 20-22.
|
| 7 |
|
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.07 / А. В. Юрьева ; науч. рук. В. П. Кривобоков, офиц. оппоненты: Н. В. Волков, С. В. Работкин; Нац. исслед. Томский политехнический ун-т, Ин-т физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск). — Томск, 2017. — 22 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 21-22.
|
| 8 |
|
Ионно-плазменные методы нанесения твердых аморфных углеродных покрытий на подложки большой площади: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / К. В. Оскомов ; науч. рук.: С. П. Бугаев, Н. С. Сочугов; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Томск, 2001. — 173 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 163-172.
|
| 9 |
|
Устройства со скрещенными электрическим и магнитным полями для нанесения тонкопленочных покрытий на подложки большой площади: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / А. А. Соловьев ; науч. рук. Н. С. Сочугов, офиц. оппоненты : Н. Н. Коваль, В. П. Кривобоков; Институт сильноточной электроники СО РАН, Институт электрофизики УрО РАН. — Томск, 2007. — 21 с.: ил. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 19-20.
|
| 10 |
|
Ионно-плазменные методы нанесения твердых аморфных углеродных покрытий на подложки большой площади: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / К. В. Оскомов ; науч. рук. С. П. Бугаев, Н. С. Сочугов, офиц. оппоненты: Н. Н. Коваль, В. П. Кривобоков; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск), Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН (М.). — Томск, 2001. — 19 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 18-19.
|