Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: [учеб. пособие для вузов по направлению подгот. 210100 "Электроника и микроэлектроника"] / В. М. Рощин, М. В. Силибин. — Б.м., 2010. — 179, [1] с.: табл. — Библиогр.: с. 180. — ISBN 978-5-94774-910-6: 240.00.
Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направления "Электроника и микроэлектроника": полезно также специалистам. работающим в соответствующей области.