В учебном пособии изложены основные положения криохимической технологии получения наноматериалов органического и неорганического синтеза и твердофазных композиций со специальными свойствами. Большое внимание уделено процессам диспергирования растворов, криокристаллизации, сублимации криогранул, десублимации растворителей, криоэкстракции и криозакалке, механической переработке твердофазных нанопорошков в изделия и другим методам физического воздействия. Изложены теоретические основы методов расчета кристаллизаторов и ваккумно-сублимационной аппаратуры, устройств для измельчения, смешивания и компактирования смесей нанопорошков. Рассмотрены основные типы современного промышленного сублимационного оборудования и приведены их технические характеристики. Предназначено для студентов вузов, обучающихся по специальностям "Машины и аппараты химических производств" и "Автоматизированное производство химических предприятий", может быть полезным для аспирантов и научных работников, занимающихся вопросами технологии нанопродуктов.

Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.

Учебное пособие составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом (ГОСом) по специальности высшего профессионального образования «Нанотехнология в электронике». В нем рассматривается система современного высшего технического образования, особенности обучения в вузе, фундаментальные основы инженерной деятельности. Данное пособие знакомит читателя с историческими этапами зарождения наноэлектроники, определяет роль микроэлектроники на современном этапе. Также приведены теоретические основы и особенности наноэлектроники, отражены особенности инструментального и технологического обеспечения ее развития. Рассматриваются достижения нанотехнологии в электронике, перспективы и тенденции ее дальнейшего развития. Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по специальности « Нанотехнология в электронике ».