В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.

В книге систематически изложены физические основы строения спектров многозарядных ионов, элементарных радиационных и столкновительных процессов с их участием, формирования возбужденных состояний ионов в высокотемпературной лабораторной и астрофизической плазме. Рассмотрены современные методы спектроскопической диагностики плазмы в рентгеновском диапазоне.Для научных работников в области физики высокотемпературной лабораторной и астрофизической плазмы, а также для аспирантов и студентов физических специальностей вузов.