Вакуумная техника: учебник для студ. вузов обуч. по спец. "Полупроводниковое и электровак. машиностроение" / Л. Н. Розанов. — М.: Высшая школа, 1982. — 207 с.: ил. — Библиогр.: с. 205. — 0.45.
В книге даны основные представления о физике вакуума; рассмотрены процессы переноса при низких давлениях, сорбционные процессы, течение газов по трубопроводам; обсуждены принципы действия основных типов вакуумных насосов, их характеристики и возможности непользования в различных системах откачки; описаны способы измерения вакуума, анализ парциальных давлений, течеискание; приведены типовые схемы вакуумных машин и установок, дан общий порядок расчета и проектирования вакуумных систем.Предназначается для студентов специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение".