Учебник-монография по актуальному направлению на стыке «классической» вакуумной электроники и нанотехнологий. Наряду с теоретическими моделями особенно подробно даны сведения об экспериментальной технике для исследований, технологиях изготовления эмиттеров и различных конструкциях автокатодов. Подробно изложены результаты исследований и применения новых наноматериалов и углеродных нанотрубок для создания автокатодов и электронных пушек на их основе. Рассмотрены применения автокатодов в новых источниках света и плоских дисплеях, СВЧ приборах и рентгеновских трубках. Для студентов старших курсов и преподавателей, инженеров-разработчиков в различных областях прикладной физики и электроники.

В монографии рассматривается имитационное моделирование на ЭВМ траекторий килоэлектронвольтных электронов в решении задач количественного электроно-зондового регтгеноспектрального микроанализа. С помощью вычислительных экспериментов получены такие важные для рентгеноспектрального микроанализа характеристики взаимодействия пучка электронов с веществом, как распределение плотности рентгеновского излучения по глубине анализируемого образца, коэффициенты отражения электронов, энергетическое распределение отраженных электронов и т. д. Описан алгоритм расчета интенсивности рентгеновских лучей для многослойных мишеней. Приведены примеры практического использования метода Монте-Карло для учета матричных эффектов в микроанализе минералов и сплавов. Книга рассчитана на специалистов в области электронно-зондового микроанализа и растровой электронной микроскопии, электронной микролитографии и других смежных областей.