| 1 |
|
Ионно-плазменные методы нанесения твердых аморфных углеродных покрытий на подложки большой площади: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / К. В. Оскомов ; науч. рук.: С. П. Бугаев, Н. С. Сочугов; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Томск, 2001. — 173 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 163-172.
|
| 2 |
|
Ионно-плазменные методы нанесения твердых аморфных углеродных покрытий на подложки большой площади: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / К. В. Оскомов ; науч. рук. С. П. Бугаев, Н. С. Сочугов, офиц. оппоненты: Н. Н. Коваль, В. П. Кривобоков; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск), Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН (М.). — Томск, 2001. — 19 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 18-19.
|
| 3 |
|
Генерация широкоапертурных пучков газовых и металлических ионов в источнике на основе контрагированного разряда и вакуумной дуги: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / Г. Ю. Юшков ; науч. рук.: П. М. Щанин, Е. М. Окс; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Томск, 1993. — 160 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 142-157.
|
| 4 |
|
Ионно-плазменное оборудование и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади: дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.02 / Н. С. Сочугов ; науч. конс. Н. Н. Коваль; Институт сильноточной электроники СО РАН. — Томск, 2012. — 405 с.: ил. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 379-405.
|
| 5 |
|
Нанесение прозрачных проводящих покрытий на основе оксида цинка методом магнетронного распыления: дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / С. В. Работкин ; науч. рук. Н. С. Сочугов; Институт сильноточной электроники СО РАН. — Томск, 2009. — 146 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 138-146.
|
| 6 |
|
Магнетронные распылительные системы и технологии нанесения энергосберегающих покрытий на архитектурные стекла и полимерные пленки: дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / А. Н. Захаров; Рос. АН, Сиб. отд-ние, Ин-т сильноточ. электроники. — Томск, 2011. — 158 с.: ил. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 145-154.
|
| 7 |
|
Источники широкоапертурных пучков ионов газов и металлов на основе дугового и тлеющего разрядов при пониженном давлении: дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.02 / Г. Ю. Юшков ; науч. конс. Е. М. Окс; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Томск, 2001. — 343 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 320-343.
|
| 8 |
|
Нанесение прозрачных проводящих покрытий на основе оксида цинка методом магнетронного распыления: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / С. В. Работкин ; науч. рук. Н. С. Сочугов, офиц. оппоненты: Е. М. Окс, С. Н. Янин; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск), Институт электрофизики УрО РАН (Екатеринбург). — Томск, 2009. — 22 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 21-22.
|
| 9 |
|
Магнетронные распылительные системы и технологии нанесения энергосберегающих покрытий на архитектурные стекла и полимерные пленки: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / А. Н. Захаров; Ин-т сильноточ. электроники СО РАН. — Томск, 2011. — 22 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 20-22.
|
| 10 |
|
Разработка и исследование широкоапертурных источников ионов и плазмы металлов: дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / А. И. Аксенов ; науч. рук.: Д. А. Носков, А. М. Толопа; Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (Томск). — Томск, 1992. — 104 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 95-104.
|
| 11 |
|
Получение ионных пучков из плазмы дугового разряда для имплантации металлов: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / Г. П. Ерохин ; науч. рук. С. П. Бугаев, науч. конс. Г. П. Баженов; Институт сильноточной электроники СО АН СССР (Томск). — Томск, 1988. — 178 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 164-178.
|
| 12 |
|
Устройства со скрещенными электрическим и магнитным полями для нанесения тонкопленочных покрытий на подложки большой площади: дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / А. А. Соловьев ; науч. рук. Н. С. Сочугов; Институт сильноточной электроники СО РАН. — Томск, 2007. — 210 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 196-210.
|
| 13 |
|
Интегрированные методы обработки конструкционных и инструментальных материалов с использованием тлеющих и вакуумно-дуговых разрядов / В. В. Будилов, Н. Н. Коваль, Р. М. Киреев, К. Н. Рамазанов; [отв. ред. В. С. Мухин] ; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т сильноточ. электроники, Акад. наук Респ. Башкортостан, Отд-ние физ.-мат. и техн. наук. — М.: Машиностроение, 2013. — 313 с.: ил.; 21 см. — Библиогр.: с. 306-309. — ISBN 978-5-94275-704-5.
В монографии рассмотрена концептуальная модель синтеза интегрированных технологий с использованием электронных, ионных и плазменных потоков. Приводится методика проектирования технологий на основе интеграции методов обработки деталей в тлеющем разряде и вакуумном дуговом разряде, обеспечивающих улучшенные эксплуатационные свойства и снижающих себестоимость технологического процесса. Рассмотрены закономерности нагрева, распыления и модификации поверхности конструкционных материалов под действием бомбардировки ионами тлеющего разряда, ионными, электронными и плазменными потоками, получаемыми на основе вакуумного дугового разряда. Приводятся новые способы комбинированной ионно-плазменной обработки. Предназначена для научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в области электронно-ионно-плазменных технологий.
|
| 14 |
|
Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: автореферат дис. ... д-ра техн. наук : 01.04.20 / И. Б. Степанов ; научн. конс. А. И. Рябчиков, офиц. оппоненты : Н. В. Гаврилов, Г. Е. Ремнев, Г. Ю. Юшков; Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. — Томск, 2010. — 44 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 38-44.
|
| 15 |
|
Исследование механизмов импульсной лазерной микрообработки аморфных углеродных пленок: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.21 / Т. В. Кононенко ; науч. рук.: В. И. Конов, В. Г. Ральченко, офиц. оппоненты: Н. С. Захаров, И. А. Буфетов; Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН (М.), Научно-исследовательский центр технологических лазеров РАН (Шатура). — М., 1996. — 28 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 25-28.
|
| 16 |
|
Ионно-плазменное оборудование и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади: автореферат дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.02 / Н. С. Сочугов ; науч. конс. Н. Н. Коваль, офиц. оппоненты : Н. В. Гаврилов, В. А. Бурдовицин, Г. Ю. Юшков; Институт сильноточной электроники СО РАН, Уфимский гос. авиацион. техн. ун-т. — Томск, 2012. — 42 с.: ил. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 37-42.
|
| 17 |
|
Несамостоятельный тлеющий разряд с полым катодом для азотирования титана: дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / Ю. Х. Ахмадеев ; науч. рук. Н. Н. Коваль; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Томск, 2007. — 116 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 101-113.
|
| 18 |
|
Генераторы низкотемпературной плазмы на основе разряда низкого давления с инжекцией электронов из дугового контрагированного разряда: дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / М. В. Шандриков ; науч. рук. Е. М. Окс; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Томск, 2004. — 144 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 130-144.
|
| 19 |
|
Исследование воздействия собственного магнитного поля на параметры плазменных струй в стационарном и импульсном вакуумном разряде: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / Е. А. Зверев ; науч. рук. И. А. Кринберг; Иркутский государственный университет (Иркутск). — Иркутск, 1999. — 112 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 105-112.
|
| 20 |
|
Генерация низкоэнергетичных сильноточных электронных пучков в пушке с плазменным анодом: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / Г. Е. Озур ; науч. рук. Д. И. Проскуровский; Институт сильноточной электроники СО АН СССР (Томск). — Томск, 1991. — 161 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 148-161.
|
| 21 |
|
Эмиттеры заряженных частиц непрерывного действия с большой поверхностью на основе разрядов с холодным катодом: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 / В. Я. Мартенс ; науч. рук. Ю. Е. Крейндель; Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники. — Томск, 1985. — 193 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 143-155.
|
| 22 |
|
Исследование импульсного вакуумного пробоя при криогенных температурах электродов: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / С. И. Шкуратов ; науч. рук. Г. А. Месяц; Институт сильноточной электроники СО АН СССР (Томск). — Томск, 1986. — 160 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 148-160.
|
| 23 |
|
Гидродинамическая модель катодной плазменной струи вакуумно-дугового разряда: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / М. П. Луковникова ; науч. рук. И. А. Кринберг; Иркутский государственный университет (Иркутск). — Иркутск, 1999. — 122 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 113-122.
|
| 24 |
|
Импульсные ускорители с плазменными катодами, генерирующие электронные пучки большого сечения: дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 05.27.02 / П. М. Щанин; Институт сильноточной электроники СО АН СССР (Томск). — Томск, 1986. — 314 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 298-314.
|
| 25 |
|
Ненакаливаемый эмиттер электронов на основе тонкопленочной системы металл-диэлектрик-металл при низких температурах: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / М. Б. Хаскельберг ; науч. рук. Ю. Б. Янкелевич; Томский государственный педагогический институт им. Ленинского Комсомола (Томск). — Томск, 1991. — 226 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 204-223.
|
| 26 |
|
Резонансная перезарядка и рассеяние ионов поверхностью кристалла NaCl: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 / Р. Р. Убайдуллаев ; науч. рук. М. Б. Гусева, офиц. оппоненты: Н. П. Калашников, Б. Л. Оксенгендлер; Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова (М.), Институт атомной энергии им. И. В. Курчатова АН СССР (М.). — М., 1990. — 14 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 14.
|
| 27 |
|
Разработка и исследование широкоапертурных источников ионов и плазмы металлов: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / А. И. Аксенов ; науч. рук.: Д. А. Носков, А. М. Толопа, офиц. оппоненты: И. П. Чернов, Е. М. Окс; Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (Томск), Институт электрофизики УрО РАН (Екатеринбург). — Томск, 1992. — 17 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 16-17.
|
| 28 |
|
Плазменные источники интенсивных электронных и ионных пучков на основе разрядов низкого давления с ненакаливаемым катодом в магнитном поле: дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.02 / Е. М. Окс; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Томск, 1994. — 271 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 251-271.
|
| 29 |
|
Формирование ленточных и псевдоленточных пучков ионов металлов и плазмы: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.20 / Д. О. Сивин ; науч. рук. А. И. Рябчиков, офиц. оппоненты : Ю. П. Усов, С. В. Смирнов; Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Институт сильноточной электроники СО РАН. — Томск, 2010. — 22 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 18-22.
|
| 30 |
|
Моделирование захвата и вывода электронного пучка бетатрона с азимутальной вариацией поля: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.20 / Т. С. Иванилова ; науч. рук. Ю. Н. Адищев, офиц. оппоненты : В. Л. Чахлов, В. М. Попик; Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Петербургский институт ядерной физики им. Б. П. Константинова РАН. — Томск, 2010. — 22 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 21-22.
|
| 31 |
|
Устройства со скрещенными электрическим и магнитным полями для нанесения тонкопленочных покрытий на подложки большой площади: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / А. А. Соловьев ; науч. рук. Н. С. Сочугов, офиц. оппоненты : Н. Н. Коваль, В. П. Кривобоков; Институт сильноточной электроники СО РАН, Институт электрофизики УрО РАН. — Томск, 2007. — 21 с.: ил. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 19-20.
|
| 32 |
|
Электронные ускорители с эмиттером на основе дугового разряда низкого давления: дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / В. С. Толкачев ; науч. рук. Ю. Е. Крейндель; Институт сильноточной электроники СО АН СССР. — Томск, 1988. — 141 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 127-141.
|
| 33 |
|
Разработка плазменных технологий и оборудования для осаждения тонкопленочных теплоотражающих покрытий: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.07 / Д. Д. Баинов ; науч. рук. В. П. Кривобоков, офиц. оппоненты : С. В. Смирнов, В. Ф. Пичугин; Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Научно-производственный центр "Полюс". — Томск, 2013. — 23 с.: ил. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 21-23.
|
| 34 |
|
Несамостоятельный тлеющий разряд с полым катодом для азотирования титана: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / Ю. Х. Ахмадеев ; науч. рук. Н. Н. Коваль, офиц. оппоненты: Е. М. Окс, И. Б. Степанов; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Томск, 2007. — 19 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 17-19.
|
| 35 |
|
Генерация многоразрядных ионов в нестационарных условиях горения вакуумного дугового разряда: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / А. С. Бугаев ; науч. рук.: Е. М. Окс, Г. Ю. Юшков, офиц. оппоненты: Ю. П. Усов, А. В. Батраков; Институт сильноточной электроники СО РАН. — Томск, 2001. — 122 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 110-122.
|
| 36 |
|
Источники широкоапертурных ионных пучков на основе вакуумного дугового разряда в сильном магнитном поле: дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / А. Г. Николаев ; науч. рук.: Е. М. Окс, Г. Ю. Юшков; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Томск, 1998. — 124 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 108-121.
|
| 37 |
|
Исследование воздействия собственного магнитного поля на параметры плазменных струй в стационарном и импульсном вакуумном разряде: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / Е. А. Зверев ; науч. рук. И. А. Кринберг, офиц. оппоненты: А. В. Козырев, В. И. Орешкин; Иркутский государственный университет (Иркутск), Физико-технический институт имени А. Ф. Иоффе (СПб.), Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Иркутск, 1999. — 24 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 21-24.
|
| 38 |
|
Процессы при переходе тока сильноточной вакуумной дуги через ноль: дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / А. В. Шнайдер ; науч. рук. А. В. Батраков; Ин-т сильноточной электроники СО РАН. — Томск, 2016. — 166 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 155-166.
|
| 39 |
|
Генерация многоразрядных ионов в нестационарных условиях горения вакуумного дугового разряда: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / А. С. Бугаев ; науч. рук.: Е. М. Окс, Г. Ю. Юшков, офиц. оппоненты: Ю. П. Усов, А. В. Батраков; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск), Институт электрофизики УрО РАН (Екатеринбург). — Томск, 2001. — 15 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 14-15.
|
| 40 |
|
Системы на основе несамостоятельных газовых разрядов низкого давления для генерации потоков ионов плазмы: дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.02 / А. В. Визирь; Институт сильноточной электроники СО РАН, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. — Томск, 2011. — 314 с.: ил. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 292-313.
|
| 41 |
|
Генерация объемной плазмы в разрядах низкого давления с полым катодом для азотирования поверхности металлов: дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / И. В. Лопатин ; науч. рук. Н. Н. Коваль; Рос. АН, Сиб. отд-ние, Ин-т сильноточ. электроники. — Томск, 2013. — 161 с.: ил. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 145-158.
|
| 42 |
|
Генерация низкотемпературной плазмы в сильноточном несамостоятельном тлеющем разряде с полым катодом: дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / В. В. Денисов ; науч. рук. Н. Н. Коваль; Ин-т сильноточной электроники СО РАН. — Томск, 2018. — 166 с.: ил. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 150-163.
|
| 43 |
|
Исследование импульсного вакуумного пробоя при криогенных температурах электродов: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / С. И. Шкуратов ; науч. рук. Г. А. Месяц, офиц. оппоненты: Ю. Д. Королев, Е. Б. Янкелевич; Институт сильноточной электроники СО АН СССР (Томск), Ленинградский физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (Л.). — Томск, 1987. — 19 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 15-16.
|
| 44 |
|
Эмиттеры заряженных частиц непрерывного действия с большой поверхностью на основе разрядов с холодным катодом: автореферат дисс. канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 / В. Я. Мартенс ; науч. рук. Ю. Е. Крейндель, офиц. оппоненты : В. А. Москалев, Ю. Д. Королев; Томский ин-т автоматизированных систем управления и радиоэлектроники. — Томск, 1985. — 18 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 16-18.
|
| 45 |
|
Модификация поверхности металлов методом ионно-лучевого смешивания: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / И. Г. Мурзин ; науч. рук. Л. П. Чупятова, офиц. оппоненты: В. Н. Мордкович, Г. В. Гордеева; Московский институт стали и сплавов (М.), ЦНИИЧЕРМЕТ. — М., 1992. — 25 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 24-25.
|
| 46 |
|
Источники низкотемпературной плазмы и электронных пучков на основе дуговых разрядов низкого давления с полым анодом: дис. ... д-ра техн. наук в виде научного доклада: 05.27.02 / Н. Н. Коваль ; офиц. оппоненты: Б. М. Ковальчук, Р. А. Салимов, В. П. Кривобоков; Институт сильноточной электроники СО АН СССР (Томск), Институт электрофизики УрО РАН (Екатеринбург). — Томск, 2000. — 74 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 68-74.
|
| 47 |
|
Влияние прикатодных процессов на контракцию импульсных объемных разрядов: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / А. В. Козырев ; науч. рук. Ю. Д. Королев; Институт сильноточной электроники СО АН СССР (Томск). — Томск, 1986. — 157 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 144-157.
|
| 48 |
|
Гидродинамическая модель катодной плазменной струи вакуумно-дугового разряда: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / М. П. Луковникова ; науч. рук. И. А. Кринберг, офиц. оппоненты: А. В. Козырев, В. И. Орешкин; Иркутский государственный университет (Иркутск), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (СПб.), Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Иркутск, 1999. — 18 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 17-18.
|
| 49 |
|
Испарение капель катодного материала в плазме вакуумно-дугового отражательного разряда: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / Е. Л. Дубровская (Прядко) ; науч. рук. А. В. Батраков, офиц. оппоненты : В. Л. Паперный, Г. Ю. Юшков; Институт сильноточной электроники СО РАН, Институт электрофизики УрО РАН. — Томск, 2012. — 30 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 25-29.
|
| 50 |
|
Испарение капель катодного материала в плазме вакуумно-дугового отражательного разряда: дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.02 / Е. Л. Дубровская (Прядко) ; науч. рук. А. В. Батраков; Институт сильноточной электроники СО РАН. — Томск, 2012. — 136 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 126-136.
|