| 1 |
|
Разработка ионно-плазменных методов нанесения покрытий и азотирования перспективных конструкционных материалов: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / А. С. Мамаев ; науч. рук. Н. В. Гаврилов, офиц. оппоненты : В. В. Овчинников, Е. М. Окс; Институт электрофизики УрО РАН, Институт сильноточной электроники СО РАН. — Екатеринбург, 2012. — 23 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 21-23.
|
| 2 |
|
Нанесение прозрачных проводящих покрытий на основе оксида цинка методом магнетронного распыления: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / С. В. Работкин ; науч. рук. Н. С. Сочугов, офиц. оппоненты: Е. М. Окс, С. Н. Янин; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск), Институт электрофизики УрО РАН (Екатеринбург). — Томск, 2009. — 22 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 21-22.
|
| 3 |
|
Нанесение прозрачных проводящих покрытий на основе оксида цинка методом магнетронного распыления: дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / С. В. Работкин ; науч. рук. Н. С. Сочугов; Институт сильноточной электроники СО РАН. — Томск, 2009. — 146 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 138-146.
|
| 4 |
|
Источник широких электронных пучков на основе разряда с самонакаливаемым полым катодом для азотирования сталей и сплавов: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / А. И. Меньшаков ; науч. рук. Н. В. Гаврилов, офиц. оппоненты : С. Ю. Соковнин, Е. М. Окс; Институт электрофизики УрО РАН (Екатеринбург), Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Екатеринбург, 2013. — 22 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 21-22.
|
| 5 |
|
Источник широких электронных пучков на основе разряда с самонакалиевым полым катодом для азотирования сталей и сплавов: дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / А. И. Меньшаков ; науч. рук. Н. В. Гаврилов; Рос. АН, Урал. отд-ние, Институт электрофизики. — Екатеринбург, 2013. — 160 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с.145-160.
|
| 6 |
|
Свойства автоэмиссионных катодов из углеродных материалов в условиях технического вакуума: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / А. С. Чепусов ; науч. рук. С. О. Чолах, науч. конс. С. Р. Корженевский, офиц. оппоненты : В. М. Березин, И. С. Егоров; Уральский федеральный ун-т им. первого Президента России Б. Н. Ельцина, Ин-т сильноточной электроники СО РАН. — Екатеринбург, 2018. — 23 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 25-27.
|
| 7 |
|
Свойства автоэмиссионных катодов из углеродных материалов в условиях технического вакуума: дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / А. С. Чепусов ; науч. рук. С. О. Чолах; Ин-т электрофизики УрО РАН, Уральский федеральный ун-т им. первого Президента России Б. Н. Ельцина. — Екатеринбург, 2018. — 133 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 124-133.
|
| 8 |
|
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии: монография / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. — М.: Техносфера, 2010. — 527 с.: ил. — (Мир материалов и технологий). — Библиогр. в конце гл. — ISBN 978-5-94836-222-9: 550.00.
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии — реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
|
| 9 |
|
Ионно-плазменное оборудование и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади: автореферат дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.02 / Н. С. Сочугов ; науч. конс. Н. Н. Коваль, офиц. оппоненты : Н. В. Гаврилов, В. А. Бурдовицин, Г. Ю. Юшков; Институт сильноточной электроники СО РАН, Уфимский гос. авиацион. техн. ун-т. — Томск, 2012. — 42 с.: ил. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 37-42.
|
| 10 |
|
Исследование электрического взрыва проводников и его применение в электрофизических установках: автореферат дис. ... д-ра техн. наук : 01.04.13 / В. С. Седой ; науч. конс. А. В. Лучинский, офиц. оппоненты: В. В. Лопатин, В. В. Иванов, В. Г. Иванов; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск), Томский политехнический университет (Томск), Научно-исследовательский институт высоких напряжений (Томск), Институт гидродинамики им. М. А. Лаврентьева СО РАН (Новосибирск). — Томск, 2003. — 32 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 29-32.
|
| 11 |
|
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.07 / А. В. Юрьева ; науч. рук. В. П. Кривобоков, офиц. оппоненты: Н. В. Волков, С. В. Работкин; Нац. исслед. Томский политехнический ун-т, Ин-т физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск). — Томск, 2017. — 22 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 21-22.
|
| 12 |
|
Исследование режимов систем энергопитания и генераторов плазмы переменного тока в диапазоне мощностей от 5 до 500 кВт: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / С. Д. Попов ; науч. рук. А. А. Сафронов, офиц. оппоненты: Э. Г. Кашарский, С. И. Кривошеев; Институт электрофизики и электроэнергетики РАН (СПб.), Санкт-Петербургский государственный политехнический университет (СПб.). — СПб., 2005. — 23 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 22-23.
|
| 13 |
|
Исследование многофазных генераторов плазмы переменного тока, работающих на окислительных средах в диапазоне мощности от 100 до 300 кВт: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / А. В. Суров ; науч. рук.: Ф. Г. Рутберг, А. А. Сафронов, офиц. оппоненты: В. Л. Горячев, Б. Г. Жуков; Институт электрофизики и электроэнергетики РАН (СПб.), Балтийский государственный технический университет "Военмех" им. Д. Ф. Устинова. — СПб., 2005. — 28 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 27-28.
|
| 14 |
|
Технические аспекты применения малогабаритной сильноточной аппаратуры для синхронизации, измерения и управления сверхбыстропротекающими электрофизическими процессами : автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / А. Г. Садыкова ; науч. рук. В. Г. Шпак, С. А. Шунайлов, офиц. оппоненты : В. В. Осипов, В. А. Лавринович; Ин-т электрофизики УрО РАН (Екатеринбург), Уральский федеральный ун-т им. первого Президента России Б. Н. Ельцина (Екатеринбург). — Екатеринбург, 2013. — 24 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 23-24.
|
| 15 |
|
Высокочастотные наносекундные генераторы для интроскопии и селективного разрушения твердых тел микронных размеров: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / С. Р. Корженевский ; науч. рук. А. Л. Филатов, офиц. оппоненты: Н. В. Гаврилов, Г. С. Евтушенко; Институт электрофизики УрО РАН (Екатеринбург), Уральский государственный технический университет (Екатеринбург). — Екатеринбург, 2008. — 24 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 24-27.
|
| 16 |
|
Взрывная коммутация и электромагнитное ускорение масс: автореферат дис. ... д-ра техн. наук : 01.04.13 / А. А. Сивков ; науч. конс.: В. Л. Корольков, В. Я. Ушаков, офиц. оппоненты: А. В. Лучинский, Ю. П. Хоменко, Э. Я. Школьников; Томский политехнический университет (Томск), Научно-исследовательский институт высоких напряжений (Томск), Институт проблем электрофизики РАН (СПб.), Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Томск, 2002. — 38 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 35-38.
|
| 17 |
|
Исследование и разработка генераторов высоковольтных импульсов на основе индуктивных накопителей энергии и размыкателей с искусственной коммутацией для питания сильноточных ускорителей: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / Е. П. Павлов ; науч. рук. О. А. Гусев, офиц. оппоненты: П. Н. Дашук, М. А. Василовский; Научно-исследовательский институт электрофизической аппаратуры им. Д. В. Ефремова (Л.), Филиал института атомной энергии им. И. В. Курчатова. — Л., 1987. — 22 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 17-22.
|
| 18 |
|
Разработка методов расчета и анализ параметров энергетически оптимальных систем электромагнитных катушек для электрофизических установок: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / В. В. Филатов ; науч. рук. Г. В. Трохачев, офиц. оппоненты: В. В. Титков, Е. А. Ламзин; Научно-исследовательский институт электрофизической аппаратуры им. Д. В. Ефремова (СПб.), Всесоюзный научно-исследовательский институт кабельной промышленности (М.). — СПб., 1997. — 28 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 27-28.
|
| 19 |
|
Компактные высоковольтные устройства для генерирования мощных субнаносекундных электромагнитных импульсов: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / М. Р. Ульмаскулов ; науч. рук.: В. Г. Шпак, М. И. Яландин, офиц. оппоненты: Ю. А. Котов, С. Д. Полевин; Институт электрофизики УрО РАН (Екатеринбург), Институт радиотехники и электроники РАН (М.). — Екатеринбург, 2001. — 23 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 20-23.
|
| 20 |
|
Рентгеновский комплекс с цифровой системой визуализации: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / С. В. Щербинин ; науч. рук. А. Л. Филатов, офиц. оппоненты: М. И. Яландин, В. Л. Кузнецов; Институт электрофизики УрО РАН (Екатеринбург), Уральский государственный технический университет (Екатеринбург). — Екатеринбург, 2001. — 23 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 21-23.
|
| 21 |
|
Исследование и создание элементов системы СВЧ питания сверхпроводящих ускоряющих резонаторов линейного коллайдера TESLA: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.20, 01.04.13 / Д. А. Завадцев ; науч. рук. Н. П. Собенин, офиц. оппоненты: В. И. Шведунов, А. И. Карев; Московский инженерно-физический институт (технический университет) (М.), Институт физики высоких энергий (Серпухов). — М., 2003. — 20 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 19-20.
|
| 22 |
|
Мощные устройства импульсной энергетики на основе реверсивно включаемых динисторов (РВД): автореферат дис. ... д-ра техн. наук : 01.04.13 / С. В. Коротков ; офиц. оппоненты: Р. Б. Гончаренко, А. С. Васильев, В. Г. Кучинский; Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН (СПб.), Российский федеральный ядерный центр (Саров), Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики (Саров), Институт проблем электрофизики РАН (СПб.). — СПб., 2003. — 34 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 30-34.
|
| 23 |
|
Методика и устройства для определения диэлектрической проницаемости материалов, используемых в электрофизических установках: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.20, 01.04.13 / А. А. Сулимов ; науч. рук. Н. П. Собенин, офиц. оппоненты: В. В. Петренко, А. В. Грызлов; Московский инженерно-физический институт (государственный университет) (М.), Институт ядерных исследований РАН (М.). — М., 2003. — 18 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 17-18.
|
| 24 |
|
Системы импульсного электропитания и возбуждение на их основе диффузного разряда: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / Г. Лай ; науч. рук. Э. Я. Школьников, офиц. оппоненты: Н. П. Собенин, А. Н. Грибов; Московский инженерно-физический институт (государственный университет) (М.), Санкт-Петербургский государственный технический университет (СПб.). — М., 2004. — 23 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 23-24.
|
| 25 |
|
Полупроводниковые генераторы с импульсной мощностью 10.8-10.9 Вт на основе субнаносекундных коммутаторов тока: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / С. К. Любутин ; науч. рук. С. Н. Рукин, офиц. оппоненты: Ю. Н. Вершинин, Г. Е. Ремнев; Институт электрофизики УрО РАН (Екатеринбург), Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Екатеринбург, 2004. — 26 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 25-27.
|
| 26 |
|
Исследование процессов в сильноточном разряде высокого давления, обусловленных электродными плазменными струями: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / М. Э. Пинчук ; науч. рук. А. А. Богомаз, офиц. оппоненты: С. В. Бобашев, А. А. Сафронов; Институт проблем электрофизики РАН (СПб.), Санкт-Петербургский государственный университет (СПб.), Институт электрофизики и электроэнергетики РАН (СПб.). — СПб., 2004. — 19 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 17-19.
|
| 27 |
|
Малогабаритные генераторы высоковольтных наносекундных импульсов на основе SOS-диодов: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / Б. Г. Словиковский ; науч. рук. С. Н. Рукин, офиц. оппоненты: Ю. Н. Вершинин, В. И. Афонин; Институт электрофизики УрО РАН (Екатеринбург), Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Екатеринбург, 2004. — 26 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 24-26.
|
| 28 |
|
Мощные импульсные плазмотроны и высокоскоростные электроразрядные ускорители масс на их основе: автореферат дис. ... д-ра техн. наук : 01.04.13 / В. А. Коликов ; науч. конс. Ф. Г. Рутберг, офиц. оппоненты: И. В. Грехов, Ю. Н. Бочаров, Г. А. Баранов; Институт электрофизики и электроэнергетики РАН (СПб.), Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — СПб., 2005. — 42 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 39-42.
|
| 29 |
|
Исследование и разработка электродных узлов для плазмотронов переменного тока мощностью от 10 до 500 кВт с длительным ресурсом непрерывной работы в окислительных средах: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / В. Е. Кузнецов ; науч. рук. А. А. Сафронов, офиц. оппоненты: С. В. Бобашев, С. А. Ермаков; Институт электрофизики и электроэнергетики РАН (СПб.), Санкт-Петербургский государственный политехнический университет (СПб.). — СПб., 2005. — 28 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 26-28.
|
| 30 |
|
Мегавольтный генератор наносекундных импульсов с полупроводниковым прерывателем тока: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / А. В. Пономарев ; науч. рук. С. Н. Рукин, офиц. оппоненты: М. И. Яландин, В. П. Ковалев; Институт электрофизики УрО РАН (Екатеринбург), Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Екатеринбург, 2005. — 26 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 26-27.
|
| 31 |
|
Высокочастотные и СВЧ-методы переработки жидких радиоактивных отходов: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / М. С. Дмитриев ; науч. рук. А. Н. Диденко, офиц. оппоненты: М. А. Завьялов, Д. Б. Лопух; Московский инженерно-физический институт (государственный университет) (М.), Всероссийский научно-исследовательский институт неорганических материалов им. А.А. Бочвара (М.). — М., 2006. — 18 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 18.
|
| 32 |
|
Быстрые ступени линейного трансформатора (LTD) с масляной изоляцией: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / В. А. Синебрюхов ; науч. рук. А. А. Ким, офиц. оппоненты: А. Л. Филатов, Э. Н. Абдуллин; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск), Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований (Троицк). — Томск, 2009. — 22 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 22.
|
| 33 |
|
Переходные процессы в емкостных накопителях энергии с полупроводниковыми коммутаторами: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / Р. Ш. Еникеев ; науч. рук. Б. Э. Фридман, офиц. оппоненты : Г. А. Шнеерсон, И. В. Галахов; Научно-исследовательский институт электрофизической аппаратуры им. Д. В. Ефремова. — СПб., 2011. — 22 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 20-22.
|
| 34 |
|
Применение импульсного электронного пучка для получения нанопорошков некоторых оксидов металлов: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / В. Г. Ильвес ; науч. рук. С. Ю. Соковнин, офиц. оппоненты : В. В. Осипов, А. И. Пушкарев; Институт электрофизики УрО РАН, Уральский федеральный университет им. Б. Н. Ельцина. — Екатеринбург, 2010. — 20 с.: ил. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 18-20.
|
| 35 |
|
Применение радиального магнитно-импульсного сжатия проводящих оболочек для формирования компонентов электрохимических устройств: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / А. В. Никонов ; науч. рук. В. В. Иванов, офиц. оппоненты : О. В. Бушкова, Л. Н. Ромашев; Институт электрофизики УрО РАН, Объединенный институт высоких температур РАН. — Екатеринбург, 2010. — 22 с.: ил. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 19-22.
|
| 36 |
|
Конденсаторно-коммутаторные сборки с субмикросекундными временами вывода энергии для компактных сильноточных импульсных генераторов: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / И. В. Лавринович ; науч. рук Н. А. Ратахин, офиц. оппоненты: Н. Г. Ремпе, А. В. Акимов; Ин-т сильноточной электроники СО РАН, Ин-т электрофизики УрО РАН. — Томск, 2016. — 19 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 18-19.
|
| 37 |
|
Исследование процессов формирования квазипрямоугольных сильноточных наносекундных импульсов для релятивистских СВЧ-генераторов: автореферат дисс. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / В. В. Кладухин ; науч. рук. Г. А. Месяц; Ин-т электрофизики УрО РАН (Екатеринбург), Спец. конструкторское бюро науч. приборостроения УрО РАН. — Екатеринбург, 2008. — 23 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 22-23.
|
| 38 |
|
Сварка стальных деталей и прессование иридиевых нанопорошков посредством сжатия проводящих оболочек в импульсных полях: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / В. И. Крутиков ; науч. рук. В. В. Иванов, науч. конс. С. Н. Паранин, офиц. оппоненты : С. В. Кривошеев, Н. А. Терещенко; Ин-т электрофизики УрО РАН, Ин-т структурной макрокинетики и проблем материаловедения РАН. — Екатеринбург, 2020. — 26 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 26.
|
| 39 |
|
Импульсивно-периодические СВЧ-источники гигаваттного уровня мощности для мобильных систем дистанционного тестирования аппаратуры : автореферат дис. ... доктора техн. наук : 01.04.13 / В. В. Кладухин ; офиц. оппоненты : С. А. Баренгольц, Н. И. Зайцев, В. Э. Иванов; Ин-т электрофизики УрО РАН, Физический ин-т им. П. Н. Лебедева РАН. — Екатеринбург, 2013. — 30 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 28-30.
|
| 40 |
|
Процессы взаимодействия сильных и сверхсильных импульсных магнитных полей с проводящими элементами мощных электрофизических установок: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / В. В. Титков ; науч. рук. Г. А. Шнеерсон, офиц. оппоненты : В. Н. Бондалетов, А. Б. Новгородцев; Ленинградский политехнический ин-т им. М. И. Калинина (Л.), Науч.-исслед. ин-т электрофизической аппаратуры им. Д. В. Ефремова (СПб.). — Л., 1985. — 16 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 16.
|
| 41 |
|
Исследование электрического взрыва проводников и его применение в электрофизических установках: дис. ... д-ра техн. наук : 01.04.13 / В. С. Седой ; науч. конс. А. В. Лучинский; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск). — Томск, 2003. — 235 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 207-235.
|
| 42 |
|
Теоретическое исследование автоэлектронной эмиссии из сверхпроводящих материалов: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.02, 01.04.13 / И. В. Уйманов ; науч. рук. Е. А. Литвинов, офиц. оппоненты: М. В. Медведев, Ю. Д. Панов; Институт электрофизики УрО РАН (Екатеринбург), Башкирский государственный университет (Уфа). — Екатеринбург, 2001. — 23 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 22-23.
|
| 43 |
|
Особенности процессов намагничивания и поляризации магниточувствительных эмульсий: автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.13 / А. Р. Закинян ; науч. рук. Ю. И. Диканский, офиц. оппоненты: А. О. Иванов, Ю. А. Ларионов; Ставропольский государственный университет, НИИ механики Московского государственного университета им. М. В. Ломоносова. — Ставрополь, 2010. — 18 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 16-18.
|
| 44 |
|
Технология получения теплоотражающих (оксид-металл-оксид) покрытий методом магнетронного распыления: научное издание / О. С. Кузьмин [и др.]; Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск) // Физическая мезомеханика. — 2004. — Том7, NСпец. вып. ч.2 . — С. 344-346. — ISSN 1029-9599. Для промышленного производства теплоотражающих покрытий (ТОП) на архитектурном стекле изготовлена установка ТОПаз-3М со шлюзованием кассеты двухстороннего размещения стекла и системой транспортировки через рабочую камеру. Максимальный размер листового стекла - 2750x1605 мм. Установка имеет автоматическую систему диагностики и управления работой вакуумного и технологического оборудования. Длительность цикла - 20-25 минут в режиме "зеркало", 40-60 минут в режиме "низкоэмиссионное стеклоTiO2", 25-30 минут в режиме "низкоэмиссионное стекло SnO2". Представлены технические характеристики установки, технологические параметры нанесения ТОП-состава TiO2-Ag-TiO2, SnO2-Ag-SnO2, а также оптические свойства полученных многослойных покрытий в видимом и инфракрасном диапазонах.
|
| 45 |
|
Комплексное модифицирование сталей и покрытий TiN в плазме дуговых разрядов низкого давления: автореферат дис. ... канд. техн. наук : 05.16.01, 05.27.02 / И. М. Гончаренко ; науч. рук.: А. Д. Коротаев, Н. Н. Коваль, оппоненты: А. В. Колубаев, Г. Е. Ремнев; Институт сильноточной электроники СО РАН (Томск), Томский государственный университет (Томск), Уфимский государственный авиационный технический университет (Уфа). — Томск, 2004. — 18 с.: граф. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 17-18.
|
| 46 |
|
Исследование процессов формирования квазипрямоугольных сильноточных наносекундных импульсов для релятивистских СВЧ-генераторов: дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / В. В. Кладухин ; науч. рук. Г. А. Месяц; Институт электрофизики УрО РАН. — Екатеринбург, 2008. — 117 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 113-117.
|
| 47 |
|
Импульсные газовые лазеры с полупроводниковыми прерывателями тока: дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / Е. Х. Бакшт ; науч. рук. В. Ф. Тарасенко; Институт сильноточной электроники СО РАН. — Томск, 2002. — 126 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 115-126.
|
| 48 |
|
Наносекундные магнитополупроводниковые импульсные модуляторы электрофизических установок: дис. ... д-ра техн. наук : 01.04.13 / А. Н. Мешков; Горьковский политехнический институт им. А. А. Жданова (Горький). — Горький, 1987. — 416 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 377-396.
|
| 49 |
|
Исследование схемы генератора с включением нагрузки до плазменного прерывателя тока: дис. ... канд. техн. наук : 01.04.13 / А. А. Жерлицын ; науч. рук. Б. М. Ковальчук; Институт сильноточной электроники СО АН СССР (Томск). — Томск, 2004. — 132 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 122-132.
|
| 50 |
|
Взрывная коммутация и электромагнитное ускорение масс: дис. ... д-ра техн. наук : 01.04.13 / А. А. Сивков; Томский политехнический университет (Томск), Научно-исследовательский институт высоких напряжений (Томск). — Томск, 2002. — 282 с. — Для служебного пользования. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 267-282.
|