В книге даны основные представления о физике вакуума; рассмотрены процессы переноса при низких давлениях, сорбционные процессы, течение газов по трубопроводам; обсуждены принципы действия основных типов вакуумных насосов, их характеристики и возможности непользования в различных системах откачки; описаны способы измерения вакуума, анализ парциальных давлений, течеискание; приведены типовые схемы вакуумных машин и установок, дан общий порядок расчета и проектирования вакуумных систем.Предназначается для студентов специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение".

Пособие посвящено описанию основных закономерностей физики разреженных газов, теоретических основ процесса откачки газов и паров, взаимодействию газов с поверхностью, технике получения вакуума, измерения полных и парциальных давлений, основам построения вакуумных систем. Описаны основы общей теории рефрижераторов и ожижителей, общие принципы построения схем криогенных установок, представлены принципиальные схемы наиболее распространенных рефрижераторов с нестационарными потоками. Предназначено для магистрантов высших учебных заведений, обучающихся по магистерским программам направления подготовки 140400 «Техническая физика», предусматривающим изучение и использование вакуумной физики и физики низких температур (в том числе и для студентов, осваивающих инновационную магистерскую программу СПбГПУ «Биоэлектроника» данного направления). Может быть использовано обучающимися по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника», а также аспирантами и специалистами, работающими в экспериментальной технической физике.

Книга крупного специалиста в области вакуумной техники, академика Польской Академии наук и почетного члена ряда зарубежных академий Я. Грошковского представляет собой монографию, в которой на современном уровне рассматриваются физика и техника высокого вакуума, методы его получения и измерения. Это существенно переработанное и дополненное издание книги "Технология высокого вакуума" того же автора, которая вышла в русском переводе в 1957 г. и приобрела широкую известность среди специалистов.Книга отличается четкостью структуры и ясностью изложения. Поэтому она окажется полезной широкому кругу научных работников, преподавателей высших учебных заведений, инженеров, заводских лабораторий, химиков, металлургов и других специалистов, а для студентов вузов соответствующих специальностей она будет хорошим учебным пособием.

В книге изложены вопросы, связанные с проектированием и эксплуатацией вакуумного оборудования. Рассмотрены теоретические основы вакуумной техники. Описаны конструкции элементов вакуумных систем, откачных машин, напылительных установок. Изложена методика проектирования вакуумных систем по коэффициенту использования насосов, имеются примеры расчетов для типовых вакуумных систем различных машин.Книга предназначена для инженерно-технических работников, проектирующих и эксплуатирующих вакуумное оборудование. Она также может быть полезна студентам вузов, специализирующихся по электровакуумному и полупроводниковому оборудованию.

Справочник содержит основные сведения по теории вакуума, расчету, конструированию и эксплуатации вакуумных систем и их элементов. Приведены физико-механические характеристики материалов, применяемых для изготовления элементов вакуумных систем. Даны примеры конструктивного выполнения вакуумной аппаратуры, методы ее сборки и отладки, правила эксплуатации. Описаны приборы для измерения давления в вакуумных системах и контроля степени их негерметичности. Для инженерно-технических работников, занимающихся конструированием, производство и эксплуатацией вакуумных систем.

Справочник содержит основные сведения по теории вакуума, расчету, конструированию и эксплуатации вакуумных систем и их элементов. Приведены физико-механические характеристики материалов, применяемых для изготовления элементов вакуумных систем. Даны примеры конструктивного выполнения вакуумной аппаратуры, методы ее сборки и отладки, а также правила эксплуатации основных видов вакуумного оборудования. Описаны приборы для измерения давления в вакуумных системах, рассмотрены методы определения негерметичности вакуумных систем, а также методы измерения и расчета основных параметров вакуумных систем. Для инженерно-технических работников, занимающихся созданием и эксплуатацией вакуумных систем.

Данное учебное пособие предназначено для сотрудников предприятий, занятых разработкой и изготовлением плазмохимического оборудования для повышения их квалификации путем приобретения компетенций в области плазмохимических технологий травления и осаждения материалов электронной и микросистемной техники. Пособие может быть полезно студентам старших курсов, обучаемых в рамках направлений «Наноматериалы» и «Материаловедение и технология материалов» по профилям, относящимся к технологии изделий микроэлектроники и микросистемной техники. В настоящем учебном пособии обсуждаются принципы построения плазмохимического оборудования, основанного на использовании низкотемпературной плазмы, создаваемой с помощью газовых разрядов при пониженных давлениях, основы процессов травления микроэлектронных структур, закономерности процессов плазмохимического травления и примеры их использования для травления разнообразных материалов, а также плазмохимические процессы осаждения слоев на примере нитрида кремния, как одних из наиболее сложных и трудных для практической реализации.

Изложены основы технологии получения покрытий испарением и конденсацией в вакууме, описаны конструкции испарительных систем, вакуумного оборудования для получения покрытий. Рассмотрены способы подготовки поверхности изделий перед металлизацией, даны рекомендации по химической, электрофизической и термической подготовке поверхностей подложек и внутрикамерных устройств. Рассмотрено получение покрытий ионным и термическим напылением металлов и сплавов, карбидов, нитридов и их аналогов. Для операторов 3-6-го разрядов установок по нанесению покрытий в вакууме, может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих отраслей.

В книге рассмотрены основные современные направления развития криогенной техники, показана прогрессивная роль криогеники в решении задач развития таких базовых отраслей промышленности, как энергетика, машиностроение, химия, металлургия. Описаны конструкции криогенных систем и установок, созданных в последние годы в Советском Союзе. рассмотрены научные основы проектирования криогенных систем, дана теория соответствующих процессов. Для инженерно-технических работников, занимающихся вопросами создания и внедрения криогенных систем, дана теория соответствующих процессов.Для инженерно-технических работников, занимающихся вопросами создания и внедрения криогенных систем и оборудования в различных отраслях народного хозяйства.

Предлагаемый вниманию читателей справочник очень популярен в Великобритании. Его авторам удалось собрать и компактно объединить под одной обложкой огромное количество информации. Здесь кратко рассмотрены практически все аспекты теории и практики современной радиосвязи - от распространения электромагнитных волн до спецификаций радиотехнического оборудования. Описаны даже способы шифрования и передачи конфиденциальной информации. Не остались без внимания и вопросы формирования, обработки и передачи сигналов в таких современных видах связи, как мобильная радиосвязь, спутниковая и транкинговая связь, беспроводная телефония. Кроме последовательного систематического изложения вопросов радиосвязи книг содержит много разнообразной информации справочного характера. Кажется, что здесь есть все - от международного кода "Q" и азбуки Морзе до формул и таблиц для расчетов радиотехнических цепей и сведений о кодировке электронных компонентов. Поистине, это находка для радиоинженеров и студентов радиотехнических и смежных специальностей. Более того, любой любознательный человек найдет здесь много интересного.

В настоящей книге показано, что, наделяя физический вакуум свойствами сверхтекучего 3Не-В, можно описать такие физические явления, как излучение, распространение и поглощение света, волновые свойства материи, взаимодействие квантовых частиц с электрическими полями, сверхпроводимость, магнетизм, а также действие сверхмалых доз биологически активных веществ на биологические объекты.

В монографии изложены систематизированные сведения о высокотемпературных материалах, работающих в вакууме и при высоких температурах, применительно к их использованию в качестве нагревателей, теплоизоляции и электроизоляции. Книга будет полезна для инженеров и специалистов, эксплуатирующих и разрабатывающих высокотемпературные печи и установки.