| 51 |
|
Нанотехнологии в полупроводниковой электронике: научное издание / [Н. Н. Михайлов, Р. Н. Смирнов, С. А. Дворецкий и др.]; отв. ред. А. Л. Асеев; Российская академия наук, Институт физики полупроводников СО РАН (Новосибирск). — Новосибирск: Издательство СО РАН, 2004. — 368 с.: ил.; 25 см. — Авт. указаны в огл. — Библиогр. в конце параграфов. — ISBN 5-7692-0608-2: 400.00.
В монографии представлены результаты работ ИФП СО РАН по развитию нанотехнологий и методов диагностики для создания нового поколения устройств и приборов современной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены: технологии молекулярно-лучевой эпитаксии; методы наноструктурирования, позволяющие создавать двух- и трехмерные наноструктуры различных форм и геометрии; современные методы диагностики полупроводниковых наноструктур с атомным разрешением; результаты применения нанотехнологии для изготовления устройств наноэлектроники. Монография представляет интерес для специалистов в области физики полупроводников, физики и химии твердого тела, микро-, наноэлектроники и нанотехнологии.
|
| 52 |
|
Нанотехнология в электронике: введение в специальность: учеб. пособие для вузов по специальности 210601 "Нанотехнология в электронике" / В. Н. Лозовский, Г. С. Константинова, С. В. Лозовский. — [2-е изд., испр.]. — СПб.; М.; Краснодар: Лань, 2008. — 327 с.: ил.; 21 см. — (Учебники для вузов. Специальная литература). — Библиогр.: с. 319. — ISBN 978-5-8114-0827-6: 310.00.
Учебное пособие составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом (ГОСом) по специальности высшего профессионального образования «Нанотехнология в электронике». В нем рассматривается система современного высшего технического образования, особенности обучения в вузе, фундаментальные основы инженерной деятельности. Данное пособие знакомит читателя с историческими этапами зарождения наноэлектроники, определяет роль микроэлектроники на современном этапе. Также приведены теоретические основы и особенности наноэлектроники, отражены особенности инструментального и технологического обеспечения ее развития. Рассматриваются достижения нанотехнологии в электронике, перспективы и тенденции ее дальнейшего развития. Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по специальности « Нанотехнология в электронике ».
|
| 53 |
|
Физика твердого тела. Основы наноэлектроники (квантовые проводники и углеродные нанотрубки): учеб. пособие / В. П. Драгунов ; рец.: И. Г. Неизвестный, О. В. Кибис; Новосибирский государственный технический университет (Новосибирск). — Новосибирск: НГТУ, 2007. — 108 с.: ил. — Инновационная образовательная программа НГТУ "Высокие технологии". — Библиогр.: с. 102-107. — ISBN 978-5-7782-0850-6.
В пособии рассматриваются особенности энергетического спектра и переноса частиц в одномерных системах (квантовых проводниках) и углеродных нанотрубках. Предназначено для студентов старших курсов и аспирантов, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники.
|
| 54 |
|
Разработана методика аттестации шероховатости поверхности твердых тел, основанная на вычислении фрактальной размерности изображений, получаемых с помощью сканирующей зондовой микроскопии. Путем тестирования на модельных самоаффинных броуновских поверхностях определены условия корректного измерения фрактальной размерности. Разработанный алгоритм применен для численного описания шероховатости поверхности тонких пленок SiO2, нанесенных при различных температурах. Показано, что в отличие от перепада высоты и среднеквадратичной шероховатости, фрактальная размерность демонстрирует хорошую корреляцию с морфологией поверхности тонких пленок оксида кремния.
|
| 55 |
|
Структура и свойства поверхностных атомных слоев металлов / А. Л. Суворов. — М.: Энергоатомиздат, 1989. — 296 с.: ил. — Библиогр.: с. 289-295. — ISBN 5-283-03731-2: 4.40.
|