| 46 |
|
Технология микроэлектронных устройств: Справочник / З. Ю. Готра ; рец. Ю. З. Бубнов. — М.: Радио и связь, 1991. — 528 с.: табл. — Библиогр.: с. 526. — ISBN 5-256-00699-1: 4.00.
Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств. Для инженерно-технических работников, мастеров и квалифицированных рабочих, занимающихся производством МЭУ.
|
| 47 |
|
Рентгенографический и электронно-оптический анализ: учеб. пособие для вузов по направлениям 550500-Металлургия, 651300-Металлургия, 651800-Физ. материаловедение / С. С. Горелик, Ю. А. Скаков, Л. Н. Расторгуев. — 4-е изд., перераб. и доп. — М.: МИСИС, 2002. — 360 с.: ил. — ISBN 5-87623-096-0: 110.00.
|
| 48 |
|
Металлы, керамики, полимеры : введение к изучению структуры и свойств технических материалов / О. Г. Уайэтт, Д. Дью-Хьюз ; пер. с англ. А. Я. Беленького и [др.], под ред. Б. Я. Любова. — М.: Атомиздат, 1979. — 578 с.: ил. — Имен. и предм. указ.: с. 563-574. — Библиогр. в конце глав. — 5.80.
|
| 49 |
|
Интегрированные методы обработки конструкционных и инструментальных материалов с использованием тлеющих и вакуумно-дуговых разрядов / В. В. Будилов, Н. Н. Коваль, Р. М. Киреев, К. Н. Рамазанов; [отв. ред. В. С. Мухин] ; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т сильноточ. электроники, Акад. наук Респ. Башкортостан, Отд-ние физ.-мат. и техн. наук. — М.: Машиностроение, 2013. — 313 с.: ил.; 21 см. — Библиогр.: с. 306-309. — ISBN 978-5-94275-704-5.
В монографии рассмотрена концептуальная модель синтеза интегрированных технологий с использованием электронных, ионных и плазменных потоков. Приводится методика проектирования технологий на основе интеграции методов обработки деталей в тлеющем разряде и вакуумном дуговом разряде, обеспечивающих улучшенные эксплуатационные свойства и снижающих себестоимость технологического процесса. Рассмотрены закономерности нагрева, распыления и модификации поверхности конструкционных материалов под действием бомбардировки ионами тлеющего разряда, ионными, электронными и плазменными потоками, получаемыми на основе вакуумного дугового разряда. Приводятся новые способы комбинированной ионно-плазменной обработки. Предназначена для научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в области электронно-ионно-плазменных технологий.
|
| 50 |
|
Исследование барьерного слоя в металлах и его влияние на кинетику и фазообразование в слоистой системе Fe-Be : автореферат дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / С. А. Нуркенов ; науч. рук. Т. А. Кукетаев, науч. конс. К. А. Кутербеков, офиц. оппоненты: В. Ф. Пичугин, С. В. Фортуна; Евразийский нац. ун-т им. Л. Н. Гумилева, Алтайский гос. ун-т. — Томск, 2017. — 22 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 19-22.
|