В книге даны основные представления о физике вакуума; рассмотрены процессы переноса при низких давлениях, сорбционные процессы, течение газов по трубопроводам; обсуждены принципы действия основных типов вакуумных насосов, их характеристики и возможности непользования в различных системах откачки; описаны способы измерения вакуума, анализ парциальных давлений, течеискание; приведены типовые схемы вакуумных машин и установок, дан общий порядок расчета и проектирования вакуумных систем.Предназначается для студентов специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение".

Монография посвящена вопросам теоретического и прикладного исследования сильнозакрученных сжимаемых потоков газа в энергоустановках. Анализируется предельная энергетическая эффективность поточных тепловых машин в отсутствии технической работы. К этому типу тепловых машин (поточных тепловых машин) относятся разнообразные типы вихревых труб, эжекторов, газовых лазеров и плазмотронов, акустических газовых устройств, газовых смесителей различных типов, т.е. таких устройств, в которых осуществляется быстрая прокачка газовой среды и необходимо преобразовать один вид энергии газового потока в другой. Автором построен условный предельный цикл для данного класса тепловых машин и найдена связь между предельной эффективностью этого типа машин с КПД цикла Карно. Разработаны математические модели течения в вихревых диффузорных устройствах - в самовакуумирующихся трубах (СВТ), эжекторах и вакуум-насосах - и оптимизации их режимов и конструктивных параметров. Приведены математические модели вихревой авиационной системы охлаждения для элементов электрорадиооборудования и вихревого парового термокомпрессора в тепловых сетях предприятий. На основе предложенной математической модели СВТ разработаны модели вихревого электроразрядного СО2-лазера и плазмотрона. Эксперимент по вихревому лазеру и плазмотрону подтвердил теоретический прогноз и показал их высокую эффективность. В монографии изложено новое направление в вихревой технике - вихревые баллистические плазмотроны многостадийного сжатия, которые могут быть использованы в лазерах, плазмотронах и нагревательных устройствах в качестве альтернативного неэлектрического способа создания плотной высокотемпературной плазмы. Кроме того, излагается применение различных типов устройств, в основе которых имеются сильнозакрученные газообразные потоки, в автомобилестроении, плазмохимии и медицине. Книга адресуется научным работникам и аспирантам теплофизических специальностей.