1 |
|
Проблемы микроэлектронной технологии / Рос. АН, Физико-технологический институт; отв. ред. тома Л. В. Великов. — М.: Наука, 1994. — 78 с.: ил. — (Труды Физико-технологического института РАН / гл. ред. К. А. Валиев, 0868-7129). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-02-007019-X: 600.00.
|
2 |
|
Проблемы микроэлектронной технологии / Рос. АН, Физико-технологический институт; отв. ред. тома А. А. Орликовский. — М.: Наука, 1994. — 128 с.: ил. — (Труды Физико-технологического института РАН / гл. ред. К. А. Валиев, 0868-7129). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-02-007030-0: 1350.00.
|
3 |
|
Субмикронные технологии / Рос. АН, Физико-технологический институт; отв. ред. тома В. Н. Репин. — М.: Наука, 1995. — 79 с.: ил. — (Труды Физико-технологического института РАН / гл. ред. К. А. Валиев, 0868-7129). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-02-000831-1: 4600.00.
|
4 |
|
Проблемы субмикронной технологии / Рос. АН, Физико-технологический институт; отв. ред. тома А. А. Орликовский. — М.: Наука, 1993. — 113 с.: ил. — (Труды Физико-технологического института РАН / гл. ред. К. А. Валиев, 0868-7129). — Библиогр. в конце ст. — ISBN 5-02-006991-4: 200.00.
|
5 |
|
Проблемы литографии в микроэлектронике / АН СССР, Институт общей физики; отв. ред. тома Т. М. Махвиладзе. — М.: Наука, 1987. — 149 с.: ил. — (Труды Института общей физики АН СССР / гл. ред. А. М. Прохоров). — 1.90.
|