| 6 |
|
Thin film materials technology: Sputtering of compound materials / K. Wasa, M. Kitabatake, H. Adachi. — Norwich: William Andrew, 2004. — 518 с.: ill. — (Related electronic materials and process technology). — Ind.: p. 501-518. — Bibliogr. at the end of the chapters. — ISBN 3-540-21118-7: 5680.00.
|
| 7 |
|
Cathodic Arc Synthesis of Ti-Si-C-N Thin Films: Plasma Analysis and Microstructure Formation / A. Eriksson. — Linköping: Linköping University, 2012. — 151 с.: ill. — (Linköping Studies in Science and Technology. Dissertations). — Ind.: p. 447-449. — ISBN 978-91-7519-714-2.
|
| 8 |
|
Труды симпозиума = Low dimensional Systems / Физика низкоразмерных систем и поверхностей (2 ; 3-8 сентября 2010 г. ; Ростов н/Д). — Ростов н/Д: СКНЦ ВШ ЮФУ АПСН, 2010. — 336 с.: ил. — Библиогр. в конце ст. — ISBN 978-5-87872-560-6: 155.00.
|
| 9 |
|
Физика тонких пленок. — М.; : Мир.
: Cовременное состояние исследований и технические применения / под общ. ред. Г. Хасса, Р. Э. Туна , пер. с англ. В. Б. Сандомирского, А. Г. Ждана. — М.: Мир, 1972. — 344 с.: ил. — Библиогр. в конце ст. — 1.70.
|
| 10 |
|
Нанесение прозрачных проводящих покрытий на основе оксида цинка методом магнетронного распыления: дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / С. В. Работкин ; науч. рук. Н. С. Сочугов; Институт сильноточной электроники СО РАН. — Томск, 2009. — 146 с. — На правах рукописи. — Библиогр.: с. 138-146.
|