Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.

An accessible introduction for electronic engineers, computer scientists and physicists. The overview covers all aspects from underlying technologies to circuits and systems. The challenge of nanoelectronics is not only to manufacture minute structures but also to develop innovative systems for effective integration of the billions of devices. On the system level, various architectures are presented and important features of systems, such as design strategies, processing power, and reliability are discussed. Many specific technologies are presented, including molecular devices, quantum electronic devices, resonant tunnelling devices, single electron devices, superconducting devices, and even devices for DNA and quantum computing. The book also compares these devices with current silicon technologies and discusses limits of electronics and the future of nanosystems.

В монографии представлены результаты работ ИФП СО РАН по развитию нанотехнологии и методов диагностики для создания нового поколения устройств и приборов современной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены: технологии молекулярно-лучевой эпитаксии; методы наноструктурирования, позволяющие создавать двух- и трехмерные наноструктуры различных форм и геометрии; современные методы диагностики полупроводниковых наноструктур с атомным разрешением; результаты применения нанотехнологии для изготовления устройств наноэлектроники. Монография представляет интерес для специалистов в области физики полупроводников, физики и химии твердого тела, микро-, наноэлектроники и нанотехнологии.

Разрабатываемое автором в течение многих лет представление о силе разуплотнения поверхностного слоя жидких, твердых и газообразных веществ — СРПС использовано для объяснения свойств наноструктур. Показано, что в наноструктурах вследствие их незначительных поперечных размеров прекращается действие ее температурной составляющей — Т-СРПС. Этим обусловлены все их главнейшие свойства, отличающие их от обычных материалов. Книга предназначена для широкого круга специалистов в области естественных и технических наук, работы которых связаны с изучением процессов на поверхности веществ, наноструктур и разработкой нанотехнологий.

В монографии представлены результаты работ ИФП СО РАН по развитию нанотехнологий и методов диагностики для создания нового поколения устройств и приборов современной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены: технологии молекулярно-лучевой эпитаксии; методы наноструктурирования, позволяющие создавать двух- и трехмерные наноструктуры различных форм и геометрии; современные методы диагностики полупроводниковых наноструктур с атомным разрешением; результаты применения нанотехнологии для изготовления устройств наноэлектроники. Монография представляет интерес для специалистов в области физики полупроводников, физики и химии твердого тела, микро-, наноэлектроники и нанотехнологии.