В книге даны основные представления о физике вакуума; рассмотрены процессы переноса при низких давлениях, сорбционные процессы, течение газов по трубопроводам; обсуждены принципы действия основных типов вакуумных насосов, их характеристики и возможности непользования в различных системах откачки; описаны способы измерения вакуума, анализ парциальных давлений, течеискание; приведены типовые схемы вакуумных машин и установок, дан общий порядок расчета и проектирования вакуумных систем.Предназначается для студентов специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение".

В книге даны фотоэлектрические характеристики приемников излучения и описаны миниатюрные устройства для их охлаждения, основанные на использовании эффекта Джоуля - Томсона, теплоты парообразования жидкостей, кипящих при низких температурах, "вихревого" эффекта, а также полупроводниковые и детандерные охлаждающие устройства. Большая часть книги посвящена технологии изготовления этих устройств, особенностям измерения низких температур и способам очистки и осушки рабочих газов. Материалы, собранные в книге, обобщают достижения отечественной и зарубежной микрохолодильной техники; некоторые материалы публикуются впервые. Книга рассчитана на инженерно-технических и научных работников, занимающихся разработкой и эксплуатацией приборов, содержащих охлаждаемые объекты, а также на специалистов, изготавливающих миниатюрные охлаждающие устройства.

Учебное пособие подготовлено в соответствии с требованиями Федерального закона от 24 июня 1998 г. № 89-ФЗ «Об отходах производства и потребления» и постановления Правительства РФ от 23 мая 2002 г. № 340 «Об утверждении Положения о лицензировании деятельности по обращению с опасными отходами». Пособие составлено по типовой программе обучения на право обращения с опасными отходами (приказ МПР России от 18 декабря 2002 г. № 868) и предназначено прежде всего для подготовки специалистов по работе с отходами. Материал изложен в доступной, наглядной и сжатой форме в сопровождении многочисленных схем и таблиц. Для студентов, аспирантов и специалистов-экологов.