| 56 |
|
Теоретическая химия: учеб. пособие для хим. фак. клас. ун-тов / Д. В. Корольков, Г. А. Скоробогатов; Санкт-Петербургский гос. ун-т. — СПб.: Издательство Санкт-Петербургского университета, 2001. — 425, [2] с.: ил. — Предм. указ.: с. 418-421. — Библиогр.: с. 398-417. — ISBN 5-288-02414-6: 87.20.
|
| 57 |
|
Аналитическая химия: учеб. пособие для хим.-биол. и биол.-хим. спец. пед. ин-тов / Н. Я. Логинов, А. Г. Воскресенский, И. С. Солодкин. — 2-е изд., перераб. — М.: Просвещение, 1979. — 479, [1] с.: ил., табл. — Библиогр.: с. 475. — 1.30.
|
| 58 |
|
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии: монография / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. — М.: Техносфера, 2010. — 527 с.: ил. — (Мир материалов и технологий). — Библиогр. в конце гл. — ISBN 978-5-94836-222-9: 550.00.
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии — реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
|
| 59 |
|
Вакуумная техника: учеб. пособие для вузов по спец. "Электрон. машиностроение" / Л. Н. Розанов. — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Высшая школа, 1990. — 319 с.: ил. — Предм. указ.: с. 315-317. — Библиогр.: с. 314. — ISBN 5-06-000479-1: 1.00.
|
| 60 |
|
Физика плазмы. Стационарные процессы в частично ионизированном газе: учеб. пособие для инж.-физ. и физ.-техн. спец. вузов / О. А. Синкевич, И. П. Стаханов. — М.: Высшая школа, 1991. — 191 с.: ил. — Библиогр.: с. 187-189. — ISBN 5-06-001954-3: 0.80.
|