Нанотехнологии в полупроводниковой электронике / [Н. Н. Михайлов, Р. Н. Смирнов, С. А. Дворецкий и др.]; отв. ред. А. Л. Асеев; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников. — 2-е изд., стереотип. — Новосибирск: Издательство СО РАН, 2007. — 368 с.: ил.; 25 см. — Авт. указаны в огл. — Библиогр. в конце параграфов. — ISBN 978-5-7692-0963-5.
В монографии представлены результаты работ ИФП СО РАН по развитию нанотехнологии и методов диагностики для создания нового поколения устройств и приборов современной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены: технологии молекулярно-лучевой эпитаксии; методы наноструктурирования, позволяющие создавать двух- и трехмерные наноструктуры различных форм и геометрии; современные методы диагностики полупроводниковых наноструктур с атомным разрешением; результаты применения нанотехнологии для изготовления устройств наноэлектроники. Монография представляет интерес для специалистов в области физики полупроводников, физики и химии твердого тела, микро-, наноэлектроники и нанотехнологии.