В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.

В таблицах собраны наиболее надежные данные о силах осцилляторов и параметрах штарковского уширения спектральных линий атомов и ионов девятнадцати элементов (водород, гелий, литий, углерод, азот, кислород, неон, натрий, магний, алюминий, аргон, калий, кальций, железо, медь, цезий, барий, ртуть, таллий), которые широко применяются при исследованиях и практическом использовании низкотемпературной плазмы, в области физики плазмы, высокотемпературной газодинамики, газовых лазеров, газоразрядных источников света, ракетной техники и астрофизики.